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本发明提供了一种锌镓氧材料薄膜，所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比大于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。锌和镓的原子比例与传统的1：2相比，镓原子的占比更低，当Zn和Ga的化学计量比发生变化时，在一定范围内形成ZnGaO材料仍然可以保...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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