全焊接单晶硅传感器制造技术

技术编号:23594500 阅读:52 留言:0更新日期:2020-03-28 01:22
本申请公开了一种全焊接单晶硅传感器,包括圆柱状的进压头、压力芯体和外接接头,所述进压头的一端凹设有用于容纳所述压力芯体的安装槽,所述压力芯体包括壳体和封装于所述壳体中的扩散硅压力敏感芯片,所述壳体靠近所述进压头的一端滑配安装于所述安装槽内,所述壳体背离所述进压头的一端焊接固定于所述进压头,所述外接接头靠近所述进压头的一端套设于所述进压头的顶端,并通过焊接固定于所述进压头,所述进压头背离所述安装槽的一端中心凹设有冲油孔,所述冲油孔连通于所述安装槽。本申请结构简单,降低制造成本,解决传感器不耐腐蚀及高温问题,具有高稳定性和高可靠性。

All welded single crystal silicon sensor

【技术实现步骤摘要】
全焊接单晶硅传感器
本申请涉及高性能、智能化仪器仪表领域,特别涉及一种全焊接单晶硅传感器。
技术介绍
现有单晶硅传感器是采用侧密封方式,如图4所示,将一个芯体1安装到不锈钢接头2内,芯体具备侧密封O型圈,通过后端锁紧环3压紧,封装成一个成品传感器部件;现有的不锈钢接头需要采用不锈钢圆棒加工,加工时间长,耗费材料巨大,后面锁紧环安装繁琐;侧密封方法虽可靠,但密封O型圈不能长期耐高温、不耐腐蚀,会因为之类问题,导致被测介质泄漏至传感器外壳内。故此需要提出改进。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种全焊接单晶硅传感器,以克服现有技术中的不足。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:本申请实施例公开了一种全焊接单晶硅传感器,包括圆柱状的进压头、压力芯体和外接接头,所述进压头的一端凹设有用于容纳所述压力芯体的安装槽,所述压力芯体包括壳体和封装于所述壳体中的扩散硅压力敏感芯片,所述壳体靠近所述进压头的一端滑配安装于所述安装槽内,所述壳体背离所述进压头的一端焊接固定于所述进压头,所述外接接头靠近所述进压头的一端套设于所述进压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全焊接单晶硅传感器,其特征在于,包括圆柱状的进压头、压力芯体和外接接头,所述进压头的一端凹设有用于容纳所述压力芯体的安装槽,所述压力芯体包括壳体和封装于所述壳体中的扩散硅压力敏感芯片,所述壳体靠近所述进压头的一端滑配安装于所述安装槽内,所述壳体背离所述进压头的一端焊接固定于所述进压头,所述外接接头靠近所述进压头的一端套设于所述进压头的顶端,并通过焊接固定于所述进压头,所述进压头背离所述安装槽的一端中心凹设有冲油孔,所述冲油孔连通于所述安装槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种全焊接单晶硅传感器,其特征在于,包括圆柱状的进压头、压力芯体和外接接头,所述进压头的一端凹设有用于容纳所述压力芯体的安装槽,所述压力芯体包括壳体和封装于所述壳体中的扩散硅压力敏感芯片,所述壳体靠近所述进压头的一端滑配安装于所述安装槽内,所述壳体背离所述进压头的一端焊接固定于所述进压头,所述外接接头靠近所述进压头的一端套设于所述进压头的顶端,并通过焊接固定于所述进压头,所述进压头背离所述安装槽的一端中心凹设有冲油孔,所述冲油孔连通于所述安装槽。


2.根据权利要求1所述的全焊接单晶硅传感器,其特征在于:所述壳体背离所述进压头的一端沿其径向向外凸伸有第一台阶,所述第一台阶通过光纤激光连续焊接固定于所述进压头。

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【专利技术属性】
技术研发人员:武羿廷
申请(专利权)人:苏州轩胜仪表科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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