一种金刚线线切机及其磁性吸附装置制造方法及图纸

技术编号:23549926 阅读:34 留言:0更新日期:2020-03-24 22:47
本发明专利技术公开了一种用于金刚线线切机切削液的磁性吸附装置及金刚线线切机,涉及金刚线线切机技术领域。其包括磁性过滤器,所述磁性过滤器安装在金刚线线切机的切削液的流动通道上,以用于通过磁场作用吸附切削液中的铁磁类材料。本发明专利技术提供的一种金刚线线切机,通过磁性过滤器减少和避免碎钢线等磁性物质进入切削液循环系统,可以减少刚线跳线断线几率,提升刚线切割的稳定性,降低切割过程中发生断线、TTV等不良,提高出片数和良率,降低切割成本。

A diamond wire cutter and its magnetic adsorption device

【技术实现步骤摘要】
一种金刚线线切机及其磁性吸附装置
本专利技术涉及金刚线线切机
,尤其涉及一种用于金刚线线切机切削液的磁性吸附装置及金刚线线切机。
技术介绍
金刚线线切机(也称金刚石线切割机)采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式,使金刚石线与被切割物件间形成相对的磨削运动,从而实现切割的目的。金刚线线切机是光伏行业切片领域的主要设备之一。为了降低硅料成本,提升单公斤出片数,金刚线越来越细,硅片厚度越来越薄,对机台的切削液洁净度和金刚线的稳定性等各方面要求也越来越高。目前,金刚线线切机在向细线化,薄片化发展,现有的金刚线线切机在使用过程中常出现金刚线跳线断线等等问题,进而造成硅片的大量损失。如何解决这一问题对提高出片数和良率,降低切割成本具有重要意义。
技术实现思路
为了解决现有技术的不足,本专利技术的主要目的在于提供一种用于金刚线线切机切削液的磁性吸附装置,通过对切片机切削液磁性吸附装置的添加,来减少和避免碎钢线等磁性物质进入切削液循环系统,这样可以减少刚线跳线断线几率,提升刚线切割的稳定性,降低切割过程中发生断线、TTV(硅单晶片在厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值)等不良,提高出片数和良率,降低切割成本。为了实现上述目的,本专利技术的技术方案如下:一种用于金刚线线切机切削液的磁性吸附装置,其特征在于,包括磁性过滤器,所述磁性过滤器安装在金刚线线切机的切削液的流动通道上,以用于通过磁场作用吸附切削液中的铁磁类材料。可选地,所述磁性过滤器为矩阵状排列的磁棒、磁片、磁环,磁棒或磁片平行均匀分布,切削液经由相邻磁棒或磁片之间的间隙流通。可选地,所述磁性过滤器设置在金刚线线切机的切削液出口处。可选地,所述磁性过滤器的间隙流通面积不小于所述切削液出口管道面积的两倍。可选地,所述金刚线线切机设有用于盛放切削液的缸体,所述磁性过滤器设置在缸体的进口处。可选地,所述磁性过滤器的间隙流通面积不小于所述缸体的进口管道面积的四倍。可选地,所述磁性过滤器的磁棒、磁片、磁环采用永磁体材料或电磁铁制成。本专利技术还提供了一种金刚线线切机,包括线切机本体,所述线切机本体内具有切削液的流动通道,所述流动通道设置有用于通过磁场作用吸附铁磁类材料的磁性吸附装置。可选地,所述金刚线线切机设有用于盛放切削液的缸体;所述磁性吸附装置的数量为两个,分别设置在缸体的进口处和金刚线线切机的切削液出口处。可选地,所述磁性过滤器为矩阵状排列的磁棒、磁片、磁环,磁棒或磁片平行均匀分布,切削液经由相邻磁棒或磁片之间的间隙流通。本专利技术提供的一种用于金刚线线切机切削液的磁性吸附装置,包括磁性过滤器,所述磁性过滤器安装在金刚线线切机的切削液的流动通道上,以用于通过磁场作用吸附切削液中的铁磁类材料。通过对金刚线线切机的切削液磁性吸附装置的添加,减少和避免碎钢线等磁性物质进入切削液循环系统,这样可以减少刚线跳线断线几率,提升刚线切割的稳定性,降低切割过程中发生断线、TTV等不良,提高出片数和良率,降低切割成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例提供的一种金刚线线切机的结构示意图;图2是根据图1所示的用于金刚线线切机切削液的磁性吸附装置的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的专利技术人在金刚线线切机的使用过程中发现:经常由于金刚线跳线断线等等问题造成硅片的大量损失。专利技术人通过长时间研究和观察发现金刚线跳线断线等是由于切削液中的碎刚线及微型金属碎屑不断与金刚线发生摩擦造成的。而传统的切削液的过滤一般是通过增加过滤袋目数的方法,降低硅粉以及杂质进入切割室,传统过滤袋方式过滤不了碎刚线及微型金属碎屑,而碎刚线及微型金属碎屑易引起刚线跳线断线。基于此,提出了在金刚线线切机的切削液中增加磁性吸附装置,以用来减少和避免碎钢线等磁性物质进入切削液循环系统,从而减少刚线跳线断线几率,提升刚线切割的稳定性,提高出片数和良率,降低切割成本。如图1和图2所示,本专利技术提供的一种金刚线线切机,一般性地,金刚线线切机2内具有切削液3的流动通道,切削液3在流动通道内循环流动。金刚线线切机2的底部设有切削液3的出口21。流动通道和用于盛放切削液3的缸体22共同构成金刚线线切机2的切削液循环系统。切削液3在切割润滑后经由出口21流动至缸体22内,然后再次循环流动至金刚线处。在切削液循环系统中设置有用于通过磁场作用吸附铁磁类材料的磁性吸附装置。磁性吸附装置能够产生强磁场,并通过磁场作用对切削液3中的碎钢线等磁性物质31进行物理吸附,使得当切削液3在流经磁性吸附装置时,碎钢线等磁性物质31被吸附在磁性吸附装置上,从而减小和避免金属类杂质进入切削液循环,进而减少和避免金属类材质引起金刚线跳线和断线问题。具体地,如图1所示,在金刚线线切机2的底部的切削液3的出口21和缸体22的进口23处均设置有磁性吸附装置,使得切削液3在一次循环过程中经两次磁性过滤,提高碎钢线等磁性物质31的吸附率,可以更好地减少和避免金属类材质引起金刚线跳线和断线问题。如图2所示,磁性吸附装置包括磁性过滤器1。磁性过滤器1安装在金刚线线切机2的切削液的流动通道上。磁性过滤器1用于通过磁场作用吸附切削液3中的铁磁类材料。磁性过滤器1采用永磁体材料或电磁铁制成,以能够产生磁场对碎钢线等磁性物质31进行磁性吸附即可。在一个具体的实施方式中,磁性过滤器1可以是矩阵状排列的磁棒、磁片、磁环或其他形状的磁体等等。例如,选用磁棒时,可采用平行均匀排列的圆磁铁棒,相邻圆磁铁棒之间间隔预定距离,组成以矩阵状排列的框式结构,使用时,切削液经由相邻磁棒或磁片之间的间隙流通。当选用磁片(片状的磁铁)时,磁片平行间隔分布,相邻磁片之间形成缝隙型的空隙,缝隙型的空隙内形成强磁场,从而当有切削液流经时,进行吸附过滤。具体地,磁性过滤器1可以仅设置在金刚线线切机2的底部的切削液3的出口21处,或者仅设置在缸体22的进口23处,也可以在两处同时设置。当磁性过滤器1设置在金刚线线切机2的底部的切削液3的出口21处时,磁性过滤器1的间隙流通面积不小于切削液出口管道面积的两倍,从而确保切削液在流经磁性过滤器1时不会发生积液现象。当磁性过滤器1设置在缸体22的进口23处时,磁性过滤器1的间隙流通面积不小于缸体22的进口管道面积的四倍,从而确保不影响切削液循环系统的流量。在一个具体的实施方式中,磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于金刚线线切机切削液的磁性吸附装置,其特征在于,包括磁性过滤器,所述磁性过滤器安装在金刚线线切机的切削液的流动通道上,以用于通过磁场作用吸附切削液中的铁磁类材料。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于金刚线线切机切削液的磁性吸附装置,其特征在于,包括磁性过滤器,所述磁性过滤器安装在金刚线线切机的切削液的流动通道上,以用于通过磁场作用吸附切削液中的铁磁类材料。


2.根据权利要求1所述的磁性吸附装置,其特征在于,所述磁性过滤器为矩阵状排列的磁棒、磁片、磁环,磁棒或磁片平行均匀分布,切削液经由相邻磁棒或磁片之间的间隙流通。


3.根据权利要求2所述的磁性吸附装置,其特征在于,所述磁性过滤器设置在金刚线线切机的切削液出口处。


4.根据权利要求3所述的磁性吸附装置,其特征在于,所述磁性过滤器的间隙流通面积不小于所述切削液出口管道面积的两倍。


5.根据权利要求2或3所述的磁性吸附装置,其特征在于,所述金刚线线切机设有用于盛放切削液的缸体,所述磁性过滤器设置在缸体的进口处。


6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:许高升孙玉虎张阳
申请(专利权)人:晶海洋半导体材料东海有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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