一种硅片甩干装置制造方法及图纸

技术编号:23542967 阅读:38 留言:0更新日期:2020-03-20 14:27
本实用新型专利技术公开一种硅片甩干装置,包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构,驱动机构安装在甩干桶底部,且驱动机构上方安装有转盘,转盘上安装有转动机构,转动机构包括多个固定架和多个连接板,固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置,且相邻的固定架之间连接有连接板,本实用新型专利技术解决了现有技术中硅片放置盒不能单独翻转,不利于装配硅片花篮的技术问题。

A drying device for silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
一种硅片甩干装置
本技术涉及硅片辅助
,尤其涉及一种硅片甩干装置。
技术介绍
硅片旋转冲洗甩干是专门用于太阳能电池片和半导体硅片的生产制造过程中对湿法腐蚀清洗后的硅片进行干燥和洁净化处理的一道重要工序,现有的硅片放置盒通常都是整体放置、整体安装,不能单独翻转放置花篮或者硅片,这样操作不方便。授权公告号为CN102706131A的专利公开了一种甩干机内筒组合件,包括内筒底板,所述内筒底板上表面环绕分布若干片盒夹具,每两个相邻的片盒夹具里端通过内加强板固定连接,同时,每两个相邻的片盒夹具外端通过外加强板固定连接;所述内筒底板中心位置处开设一个中心通孔,每个片盒夹具外表面设置若干固定孔。该专利中的片盒夹具是多个夹具装配在一起,这样无法单独翻转,不利于单独放置和查看硅片。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种硅片甩干装置,解决了现有技术中硅片放置盒不能单独翻转,不利于装配硅片花篮的技术问题。一种硅片甩干装置,包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构,所述驱动机构安装在甩干桶底部,且驱动机构上方安装有转盘,所述转盘上安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片甩干装置,其特征在于,包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构,所述驱动机构安装在甩干桶底部,且驱动机构上方安装有转盘,所述转盘上安装有转动机构,所述转动机构包括多个固定架和多个连接板,所述固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置,且相邻的固定架之间连接有所述连接板。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片甩干装置,其特征在于,包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构,所述驱动机构安装在甩干桶底部,且驱动机构上方安装有转盘,所述转盘上安装有转动机构,所述转动机构包括多个固定架和多个连接板,所述固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置,且相邻的固定架之间连接有所述连接板。


2.根据权利要求1所述的一种硅片甩干装置,其特征在于,所述固定架至少为四个。


3.根据权利要求2所述的一种硅片甩干装置,其特征在于,所述固定架包括限位槽、放料框和销轴,所述限位槽固定...

【专利技术属性】
技术研发人员:李欢卜廷宇
申请(专利权)人:扬州虹扬科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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