下载一种硅片甩干装置的技术资料

文档序号:23542967

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本实用新型公开一种硅片甩干装置,包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构,驱动机构安装在甩干桶底部,且驱动机构上方安装有转盘,转盘上安装有转动机构,转动机构包括多个固定架和多个连接板,固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置,且相邻的固定架之间连接有连...
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