【技术实现步骤摘要】
一种废气处理设备系统负压的调节装置
本技术涉及半导体行业废气处理
，具体涉及一种废气处理设备系统负压的调节装置。
技术介绍
半导体废气处理设备主要由制程废气反应装置和洗涤塔系统组成，制程废气从废气处理设备的进气口流入，经过处理后的气体从洗涤塔流出到厂务中心处理系统，目前半导体废气处理设备的系统负压全部由厂务提供，如果厂务系统提供的系统负压压力不够，会造成处理设备内的气体流动不畅通甚至系统会形成正压，阻止制程废气流入设备腔体内部，影响设备的正常运行和生产进度,如果厂务系统提供的系统负压过大，会造成气体流动过快，影响设备的处理效率。因此，如何调节系统负压成为急需要解决的问题，同时由于废气处理设备需要定期维护，因此需要一款装置既能对废气处理设备系统负压进行调节，又能满足维护方便的需求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种废气处理设备系统负压的调节装置，以解决现有技术中缺少废气处理设备系统负压调节的缺陷，同时能满足维护方便的需求。一种废气处理设备系统负压的调节装置，包括螺钉连接的顶盖和外壳，...
【技术保护点】
1.一种废气处理设备系统负压的调节装置，其特征在于，包括螺钉连接的顶盖(1)和外壳(2)，所述顶盖(1)上开有通孔并于顶盖(1)上端安装电机(3)，所述电机(3)的输出轴穿过通孔并于末端套接扇身(4)，所述扇身(4)上设有数个沿其轴线呈环形排列的扇叶(5)，所述外壳(2)底端设有安装管道(6)且其侧面设有排气管道(7)，所述外壳(2)内还设有方便清洁扇叶(5)的清洁装置(8)。/n
【技术特征摘要】
1.一种废气处理设备系统负压的调节装置，其特征在于，包括螺钉连接的顶盖(1)和外壳(2)，所述顶盖(1)上开有通孔并于顶盖(1)上端安装电机(3)，所述电机(3)的输出轴穿过通孔并于末端套接扇身(4)，所述扇身(4)上设有数个沿其轴线呈环形排列的扇叶(5)，所述外壳(2)底端设有安装管道(6)且其侧面设有排气管道(7)，所述外壳(2)内还设有方便清洁扇叶(5)的清洁装置(8)。
2.根据权利要求1所述的一种废气处理设备系统负压的调节装置，其特征在于：所述外壳(2)侧面开有滑槽(9)，所述外壳(2)的内侧设有限位环(10)，所述清洁装置(8)包括沿限位环(10)内转动且与其同轴设置的圆环(11)，所述圆环(11)与外壳(2)内侧间隙配合，所述圆环(11)外侧安装有沿滑槽(9)内滑动...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨春涛，陈彦岗，杨春水，席涛涛，宁腾飞，王继飞，张坤，闫萧，蔡传涛，章文军，王磊，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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