【技术实现步骤摘要】
晶圆盒仓储系统
本专利技术是有关一种晶圆盒仓储系统，尤指一种利用平面三轴机器人以三轴旋转运动进行晶圆盒的平面移载，致使晶圆盒仓储系统的空间得以微型化的设计。
技术介绍
如图6所示，中国台湾公开编号第201730067号专利技术专利，揭露一种有关晶圆盒保管装置，其包括有：一对的收纳部60a、60b，各具有成列供晶圆盒20a储置的数个棚架61，各对棚架61被相向配置；以及一移载装置70，设置于该对收纳部60a、60b之间，而将一对导轨71沿着该对收纳部60a、60b铺设，并于该对导轨71上设置一台车72，该台车72上设置一旋转台73，该旋转台73上设置一桅杆74，该桅杆74上设置一升降台75，该升降台75上设置一移载机构76，该移载机构76具有一叉架761；因此，该移载装置70借由台车72的移行控制、升降台75的升降控制及旋转台73的旋转控制，将移载机构76移动至指定的棚架61前，再使移载机构76伸长让叉架761进入棚架61内，进而取出或放入晶圆盒20a，致使晶圆盒20a得于各棚架61之间被移载而进行仓储管理。然而，由于前述专利...
【技术保护点】
1.一种晶圆盒仓储系统，其特征在于，包括：/n一架体，周边环绕设有数个层叠式盒架，而各该盒架各为一个具有对应坐标的晶圆盒的储位，并于各该盒架中择一做为入仓盒架且择一做为出仓盒架或仅择一做为入仓/出仓共享盒架；/n一升降装置，设置于该架体，而朝向该架体内部具有一升降台；/n一平面三轴机器人，设置于该架体内部，而将一基座设置于该升降台，该基座设有一上臂与一上臂旋转马达，该上臂设有一前臂与一前臂旋转马达，该前臂设有一腕部牙叉与一腕部牙叉旋转马达；/n一操控单元，设置于该架体，而将一人机接口设置于该架体外侧，而控制该升降装置与该平面三轴机器人进行晶圆盒的入仓或出仓。/n
【技术特征摘要】
20180910 TW 1071317511.一种晶圆盒仓储系统，其特征在于，包括：
一架体，周边环绕设有数个层叠式盒架，而各该盒架各为一个具有对应坐标的晶圆盒的储位，并于各该盒架中择一做为入仓盒架且择一做为出仓盒架或仅择一做为入仓/出仓共享盒架；
一升降装置，设置于该架体，而朝向该架体内部具有一升降台；
一平面三轴机器人，设置于该架体内部，而将一基座设置于该升降台，该基座设有一上臂与一上臂旋转马达，该上臂设有一前臂与一前臂旋转马达，该前臂设有一腕部牙叉与一腕部牙叉旋转马达；
一操控单元，设置于该架体，而将一人机接口设置于该架体外侧，而控制该升降装置与该平面三轴机器人进行晶圆盒的入仓或出仓。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒仓储系统，其特征在于，所述前臂与该上臂等长。
3.根据权利要求1或2所述的晶圆盒仓储系统，其特征在于，所述平面三轴机器人将该前臂...
【专利技术属性】
技术研发人员：游兆胜，简呈儒，刘于漩，谢政达，
申请(专利权)人：迅得机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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