气密柜及仓储系统技术方案

本公开涉及一种气密柜及仓储系统，其中所述气密柜包括：一气密柜本体，所述气密柜本体具有一开口，所述开口位于所述气密柜本体的一侧；一电动挠性闸门，所述电动挠性闸门设置于所述气密柜本体上；一压板；以及多个动力源，所述压板连接于所述多个动力源，所述多个动力源能推动所述压板朝向靠近或远离所述气密柜本体的方向移动；其中当所述气密柜要呈气密状态时，能将所述帘体放下，并以所述多个动力源推动所述压板朝向靠近所述气密柜本体的方向移动，使所述压板压靠于所述帘体上，从而使所述帘体抵靠所述气密柜本体设有所述开口的一侧，用以封闭所述开口。由此，可提供良好的气密性且减少气密柜开启时占用的高度空间，并可达到自动化的需求。自动化的需求。自动化的需求。

【技术实现步骤摘要】
气密柜及仓储系统


[0001]本技术涉及一种气密柜及仓储系统，尤指一种能用于储存被储存物且在储存的过程中保持良好气密性的气密柜及仓储系统。

技术介绍

[0002]板件在运送的过程中，湿度及洁净度等要求非常的重要，因此需将板件储存于气密柜中，使气密柜保持良好的气密性，从而能维持预定的湿度及洁净度等。然而现有的气密柜，在门板开启时，会占用较多的高度空间，且难以达到自动化的需求。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题在于针对现有技术的不足提供一种气密柜及仓储系统，其可提供良好的气密性且减少气密柜开启时占用的高度空间，并可达到自动化的需求。
[0004]为了解决上述的技术问题，本技术提供了一种气密柜，所述气密柜包括：一气密柜本体，所述气密柜本体具有一容置空间，所述容置空间位于所述气密柜本体内，所述气密柜本体具有一开口，所述开口位于所述气密柜本体的一侧，所述开口与所述容置空间相连通；一电动挠性闸门，所述电动挠性闸门设置于所述气密柜本体上，所述电动挠性闸门具有一帘体及一电动马达，所述帘体连接于所述电动马达，所述电动马达能驱动所述帘体进行卷放的动作；一压板，所述压板具有一框体，所述框体的内部形成一进出口；以及多个动力源，所述多个动力源设置于所述气密柜本体上，所述压板连接于所述多个动力源，所述多个动力源能推动所述压板朝向靠近或远离所述气密柜本体的方向移动；其中，当所述气密柜要呈气密状态时，能将所述帘体放下，并以所述多个动力源推动所述压板朝向靠近所述气密柜本体的方向移动，使所述压板压靠于所述帘体上，从而使所述帘体抵靠所述气密柜本体设有所述开口的一侧，用以封闭所述开口。
[0005]优选地，所述容置空间内设置多个支撑架，所述多个支撑架靠近所述气密柜本体的两侧，所述多个支撑架能用以支撑一被储存物，所述多个支撑架上分别设有定位件，用以挡止定位所述被储存物的边缘。
[0006]优选地，所述帘体的面积大于所述开口的面积。
[0007]优选地，所述气密柜本体设有所述开口的一侧设置有至少一气密胶条，所述气密胶条围绕于所述开口的外围，当所述压板压靠于所述帘体上，所述帘体能抵靠所述气密胶条，以增加气密性。
[0008]优选地，所述气密柜本体的另一侧设置有一温湿度传感器，所述温湿度传感器伸至所述容置空间内，能用以测量所述气密柜本体内的温度及湿度。
[0009]优选地，所述气密柜本体的另一侧设置有一进气接头，能用以输入气体至所述气密柜本体内。
[0010]优选地，所述多个动力源分别设置于所述气密柜本体的两侧，所述多个动力源分
别靠近所述气密柜本体的顶部及底部，所述压板的两侧分别连接于所述多个动力源。
[0011]优选地，所述多个动力源分别连接于所述压板的两侧靠近顶部及底部处。
[0012]优选地，所述压板的所述框体竖立地设置，所述压板的所述框体平行于所述气密柜本体设有所述开口的一侧。
[0013]为了解决上述的技术问题，本技术还提供了一种仓储系统，所述仓储系统包括：一架体，所述架体设有多个料架，所述多个料架排列成多层，每一所述料架为一具有独立坐标的储位，所述架体还设有至少一进出料平台，所述储位及所述进出料平台皆能用以放置根据前文所述的气密柜；以及一搬运装置，所述搬运装置设置于所述架体中，所述搬运装置能搬运放置于所述进出料平台的所述气密柜并将该气密柜移至任一储位存放，所述搬运装置还能搬运放置于任一储位的所述气密柜并将该气密柜移至所述进出料平台暂放。
[0014]本技术的有益效果在于，本技术所提供的气密柜及仓储系统中，该气密柜包括一气密柜本体、一电动挠性闸门、一压板及多个动力源。电动挠性闸门设置于气密柜本体上，电动挠性闸门具有一帘体及一电动马达，电动马达能驱动帘体进行卷放的动作。这些动力源设置于气密柜本体上，压板连接于这些动力源，这些动力源能推动压板朝向靠近或远离气密柜本体的方向移动。当气密柜要呈气密状态时，能将帘体放下，并以这些动力源推动压板朝向靠近气密柜本体的方向移动，使压板压靠于帘体上，从而使帘体抵靠气密柜本体设有开口的一侧，用以封闭该开口。本技术可提供良好的气密性且气密柜要开启时，只需使压板离开帘体并将帘体卷收，不会占用高度空间，且本技术的电动挠性闸门及压板不需以人工操作，从而能以自动控制方式操作，可达到自动化的需求。
[0015]为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本技术加以限制。
附图说明
[0016]图1为本技术的气密柜的立体图。
[0017]图2为本技术的气密柜的前视图。
[0018]图3为本技术的气密柜的侧视图。
[0019]图4为沿图1的线
Ⅳ‑Ⅳ
剖切的剖视图。
[0020]图5为本技术的气密柜的立体分解图(一)。
[0021]图6为本技术的气密柜的立体分解图(二)。
[0022]图7为本技术的气密柜使用状态的前视示意图。
[0023]图8为本技术的气密柜使用状态的俯视示意图。
具体实施方式
[0024][实施例][0025]请参阅图1至图4，本技术提供了一种气密柜，该气密柜能用于被储存物100(如基板、晶圆或光罩等物品)的储存，该气密柜包括一气密柜本体1、一电动挠性闸门2、一压板3及多个动力源4。
[0026]该气密柜本体1可为一方形箱体，该气密柜本体1的形状并不受到限制，该气密柜本体1具有一容置空间11，该容置空间11位于气密柜本体1内，该气密柜本体1具有一开口
12，该开口12位于气密柜本体1的一侧(前侧)，该开口12与容置空间11相连通，可通过开口12将被储存物100放置于容置空间11内或移出。优选地，该容置空间11内可设置多个支撑架13(如图5 及图6所示)，这些支撑架13靠近气密柜本体1的两侧(左侧及右侧)，这些支撑架13能用以支撑被储存物100，使该被储存物100放置于气密柜本体 1内适当高度位置。这些支撑架13各设有多个定位件14，这些定位件14突设于支撑架13上，这些定位件14能用以挡止定位该被储存物100的边缘，用以防止该被储存物100滑动偏移，使该被储存物100能稳定地放置。
[0027]该电动挠性闸门2设置于气密柜本体1上，该电动挠性闸门2设置于开口12处，该电动挠性闸门2能以电动方式驱动，用以关闭及开启开口12。该电动挠性闸门2具有一帘体21及一电动马达22，该帘体21以可挠性材质制成，优选地，该帘体21以不透气材质制成，该帘体21的材质例如可为PVC 等。该帘体21的宽度及长度大于开口12的宽度及长度，使该帘体21的面积大于开口12的面积，使该帘体21能确保遮蔽开口12，以具有较好的气密效果。该帘体21连接于电动马达22，该电动马达22能驱动帘体21进行卷放的动作。当该帘体21放下时，该帘体21遮蔽于开口12处，用以关闭该开口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气密柜，其特征在于，包括：一气密柜本体，所述气密柜本体具有一容置空间，所述容置空间位于所述气密柜本体内，所述气密柜本体具有一开口，所述开口位于所述气密柜本体的一侧，所述开口与所述容置空间相连通；一电动挠性闸门，所述电动挠性闸门设置于所述气密柜本体上，所述电动挠性闸门具有一帘体及一电动马达，所述帘体连接于所述电动马达，所述电动马达能驱动所述帘体进行卷放的动作；一压板，所述压板具有一框体，所述框体的内部形成一进出口；以及多个动力源，所述多个动力源设置于所述气密柜本体上，所述压板连接于所述多个动力源，所述多个动力源能推动所述压板朝向靠近或远离所述气密柜本体的方向移动；其中，当所述气密柜要呈气密状态时，能将所述帘体放下，并以所述多个动力源推动所述压板朝向靠近所述气密柜本体的方向移动，使所述压板压靠于所述帘体上，从而使所述帘体抵靠所述气密柜本体设有所述开口的一侧，用以封闭所述开口。2.根据权利要求1所述的气密柜，其特征在于，所述容置空间内设置多个支撑架，所述多个支撑架靠近所述气密柜本体的两侧，所述多个支撑架能用以支撑一被储存物，所述多个支撑架上分别设有定位件，用以挡止定位所述被储存物的边缘。3.根据权利要求1所述的气密柜，其特征在于，所述帘体的面积大于所述开口的面积。4.根据权利要求1所述的气密柜，其特征在于，所述气密柜本体设有所述开口的一侧设置有至少一气密胶条，所述气密胶条围绕于所述开口的外围，当所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴守满，陈柏任，
申请(专利权)人：迅得机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：