下载晶圆盒仓储系统的技术资料

文档序号:23508625

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一种晶圆盒仓储系统,包括;一架体,周边环绕设有数个层叠式盒架,而各盒架各为一个具有对应坐标的晶圆盒的储位,并于各盒架中择一做为入仓盒架且择一做为出仓盒架或仅择一做为入仓/出仓共享盒架;一升降装置,设置于架体,而朝向架体内部具有一升降台;一平...
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