极紫外光光罩用的保护膜制造技术

一种极紫外光光罩用的保护膜，包括第一覆盖层、设置在第一覆盖层上方的基质层、设置在基质层上方的第二覆盖层；以及设置在第二覆盖层上方的金属层。

Protective film for extreme ultraviolet light mask

【技术实现步骤摘要】
极紫外光光罩用的保护膜
本揭示内容是关于微影光罩用的保护膜。
技术介绍
保护膜(pellicle)是在一框架上方拉伸的薄透明膜，其粘合在光罩的一侧上方，以保护光罩免受破坏、灰尘和/或湿气。在极紫外光微影中，通常需要在极紫外光波长区域具有高的透明度、高的机械强度、和低的热膨胀的保护膜。
技术实现思路
本揭容的一态样提供了一种极紫外光光罩用的保护膜，包含：第一覆盖层、基质层、第二覆盖层、以及金属层。基质层设置在第一覆盖层上方。第二覆盖层设置在基质层上方。金属层设置在第二覆盖层上方。附图说明本揭示内容的各方面，可由以下的详细描述，并与所附附图一起阅读，而得到最佳的理解。值得注意的是，根据业界的标准惯例，各个特征并未按比例绘制。事实上，为了清楚地讨论起见，各个特征的尺寸可能任意地增加或减小。图1显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图2显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图3显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图4显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图5显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图6显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图7显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图8显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图9显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图10显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图11显示根据本揭示内容的一实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图12显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图13显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图14显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图15显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图16显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图17显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图18显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图19显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图20显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图21显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图22显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图23显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图24显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图25显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图26显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图27显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图28显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图29显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图30显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图31显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图32显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图33显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图34显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图35显示根据本揭示内容的另一个实施方式的用于制造极紫外光光罩用的保护膜的各个阶段中的其中一个阶段的截面视图；图36显示根据本揭示内容的另一个实施方式的极紫外光光罩用的保护膜的截面视图；图37显示根据本揭示内容的另一个实施方式的极紫外光光罩用的保护膜的截面视图；图38显示一截面视图，其绘示根据本揭示内容的实施方式的贴附至极紫外光光罩的保护膜。【符号说明】10：基板15：第三开口20：第一覆盖层30：基质层40：第二覆盖层50：背侧涂层55：第二开口60：光阻层65：第一开口100：金属层130：基础基质层140：稳定层150：基础稳定层160：合金层200：保护膜210：极紫外光光罩212：黑色边框214：电路图案具体实施方式理解的是，之后的揭示内容提供了用于实现本揭示内容的不同特征的许多不同的实施方式或实施例。以下描述组件和配置的具体实施方式或实施例，以简化本揭示内容。这些当然仅是实施例，并不意图限定。例如，元件的尺寸不限于所揭示的范围或数值，而是可能取决于装置的制程条件和/或所需特性。此外，在随后的描述中，形成第一特征在第二特征上方或之上，可能包括第一和第二特征以直接接触形成的实施方式，且也可能包括附加的特征可能形成介在第一和第二特征之间，因此第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种极紫外光光罩用的保护膜，其特征在于，包含：/n一第一覆盖层；/n一基质层，设置在该第一覆盖层上方；/n一第二覆盖层，设置在该基质层上方；以及/n一金属层，设置在该第二覆盖层上方。/n

【技术特征摘要】
20180831 US 62/725,984;20190531 US 16/427,9801.一种极...

【专利技术属性】
技术研发人员：林雲跃，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71