偏振器装置以及具有偏振器装置的EUV辐射产生设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种偏振器装置(1)，该偏振器装置用于使激光射束(2)偏振，该偏振器装置包括：布置在激光射束(2)的射束路径中的多个板状光学元件(5，16)，所述多个板状光学元件分别具有用于激光射束(2)的射束入射面(5a，6a，...)以及用于激光射束(2)的射束出射面(5b，6b，...)，其中，相应的板状光学元件(5，16)的射束入射面(5a，6a，...)相对于激光射束(2)以布鲁斯特角(OB)地取向。板状光学元件(5，16)的射束入射面(5a，6a，...)与射束出射面(5b，6b，...)彼此分别以至少一个楔角(γ

Polarizer device and EUV radiation generating device with polarizer device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】偏振器装置以及具有偏振器装置的EUV辐射产生设备
本专利技术涉及一种用于使激光射束偏振的偏振器装置，该偏振器装置包括：布置在激光射束的射束路径中的多个板状光学元件，所述多个板状光学元件分别具有用于激光射束的射束入射面以及用于激光射束的射束出射面，其中，相应的板状光学元件的射束入射面(在相应的入射平面中)相对于激光射束以布鲁斯特角(Brewster-Winkel)取向。本专利技术还涉及一种具有这种偏振器装置的EUV辐射产生设备。
技术介绍
当激光射束以所谓的布鲁斯特角照射在光学元件的射束入射面上时，例如可以使用板状透射光学元件来使(例如非偏振的)激光射束形式的光发生偏振。在这种情况下，在射束入射面上反射的辐射分量几乎完全垂直于激光射束到射束入射面上的入射平面地偏振(s偏振)——即对于垂直于该s偏振的第二(p偏振)辐射分量的反射率几乎为零。因此，由射束入射面透射的辐射分量通常具有高的p偏振辐射分量，该p偏振辐射分量平行于入射激光射束的入射平面延伸。以透射方式运行的偏振器也可以用于高功率应用中，在所述高功率应用中激光射束具有数百瓦的功率，这例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种偏振器装置(1)，所述偏振器装置用于使激光射束(2)偏振，所述偏振器装置包括：/n多个板状光学元件(5，...，10；5，...，16)，所述多个板状光学元件布置在所述激光射束(2)的射束路径中，所述多个板状光学元件分别具有用于所述激光射束(2)的射束入射面(5a，6a，...)以及用于所述激光射束(2)的射束出射面(5b，6b，...)，其中，相应的板状光学元件(5，...，10；5，...，16)的所述射束入射面(5a，6a，...)相对于所述激光射束(2)以布鲁斯特角(α

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种偏振器装置(1)，所述偏振器装置用于使激光射束(2)偏振，所述偏振器装置包括：
多个板状光学元件(5，...，10；5，...，16)，所述多个板状光学元件布置在所述激光射束(2)的射束路径中，所述多个板状光学元件分别具有用于所述激光射束(2)的射束入射面(5a，6a，...)以及用于所述激光射束(2)的射束出射面(5b，6b，...)，其中，相应的板状光学元件(5，...，10；5，...，16)的所述射束入射面(5a，6a，...)相对于所述激光射束(2)以布鲁斯特角(αB)取向，
其特征在于，
所述板状光学元件(5，...，10；5，...，16)的所述射束入射面(5a，6a，...)与所述射束出射面(5b，6b，...)彼此分别以至少一个楔角(γ1，γ2)取向。


2.根据权利要求1所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在至少一个板状光学元件(5，...，10)中，所述楔角(γ1)位于所述激光射束(2)到所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中。


3.根据权利要求1或2所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在至少一个板状光学元件(5，...，10)中，所述楔角(γ2)位于如下平面(XZ)中：所述平面垂直于所述激光射束(2)到所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)延伸。


4.根据以上权利要求中任一项所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在至少一个板状光学元件(6，8，10)中，第一楔角(γ1)位于所述激光射束(2)到所述光学元件(6，8，10)的所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中，并且在所述偏振器装置中，第二楔角(γ2)位于垂直于所述激光射束(2)的所述入射平面(XY)延伸的平面(XZ)中。


5.根据以上权利要求中任一项所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，所述板状光学元件(5，...，10；5，...，16)在所述激光射束(2)到相应的射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中分别具有相同的楔角(γ1)，和/或，所述板状光学元件在垂直于所述激光射束(2)的入射平面(XY)延伸的平面(XZ)中分别具有相同的楔角(γ2)。


6.根据以上权利要求中任一项所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，所述至少一个楔角(γ1，γ2)小于1.0°、优选小于0.5°。


7.根据以上权利要求中任一项所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在入射的激光射束(2)的射束方向(3)上，在所述射束路径中彼此相继的各两个板状光学元件(5，6；6，7；...)彼此具有小于5mm的最小间距(A)。


8.根据以上权利要求中任一项所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在所述激光射束(2)的射束路径中彼此相继的至少两个板状光学元件(5，6)中，所述射束入射面(5a，6a)与所述射束出射面(5b，6b)彼此不平行地取向。


9.根据以上权利要求中任一项所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在所述激光射束(2)的射束路径中彼此相继的至少两个板状光学元件(5，...，10)以所述板状光学元件的处于共同的平面(XY)中的楔角(γ1)同向地取向。


10.根据权利要求9所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·埃尔金，
申请(专利权)人：通快激光系统半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE