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本发明涉及一种偏振器装置(1)，该偏振器装置用于使激光射束(2)偏振，该偏振器装置包括：布置在激光射束(2)的射束路径中的多个板状光学元件(5，16)，所述多个板状光学元件分别具有用于激光射束(2)的射束入射面(5a，6a，...)以及用于...该专利属于通快激光系统半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通快激光系统半导体制造有限公司授权不得商用。
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