一种气氛条件可调的光谱测量系统技术方案

本发明专利技术公开了一种气氛条件可调的光谱测量系统，主要解决现有光谱分析仪器适用范围有限，难以满足多样化测量的问题。该光谱测量系统包括中控单元，以及通过信号线缆与中控单元相连的气体注入系统、真空光学分析室、分析室真空获取单元、探测光路系统和收集光路系统。本发明专利技术通过将真空系统与光学系统相结合，实现了对被测量对象的气氛条件的选择性调节和控制，能够完全排除空气对光谱分析的干扰，满足需要特性气氛条件下对特定物质的分析，还能适用于高活性、毒性、放射性或其他有害性物质分析；提升了光谱测量系统的测量能力和扩展了测量适用范围。因此，适于推广应用。

A spectral measurement system with adjustable atmosphere conditions

【技术实现步骤摘要】
一种气氛条件可调的光谱测量系统
本专利技术涉及真空仪器技术和光学分析仪器
，具体地说，是涉及一种气氛条件可调的光谱测量系统。
技术介绍
气氛条件可调的光谱测量系统可以对被测量对象的气氛条件进行选择性调节和控制，从而达到排除气氛引入的测量干扰、提升测量能力以及扩展测量适用范围的目的。目前各类型光谱分析仪器(例如LIBS，拉曼光谱，红外光谱等)主要采用在大气中直接测量、使用惰性气体吹扫测量，以及放置在石英等透明容器中测量的方式进行分析检测。在空气对测量干扰较强，样品具有高活性、毒性、放射性及其他有害特性的特殊应用情景时，此类光谱分析仪器难以进行有效测量。此外，对于需要特定气氛条件才能够进行的测量，传统光谱分析仪器也无法适用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种气氛条件可调的光谱测量系统，主要解决现有光谱分析仪器适用范围有限，难以满足多样化测量的问题。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种气氛条件可调的光谱测量系统，包括中控单元，以及通过信号线缆与中控单元相连的真空光学分析室、分析本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气氛条件可调的光谱测量系统，其特征在于，包括中控单元，以及通过信号线缆与中控单元相连的气体注入系统、真空光学分析室、分析室真空获取单元、探测光路系统和收集光路系统；/n所述中控单元用于对各个单元进行协调和控制，并通过中控单元内的控制器指令完成给定气氛条件的气体配置、光学测量和光谱采集；/n所述气体注入系统用于获取设定流量或体积的气体；/n所述真空光学分析室用于在给定气氛条件下使气体注入系统注入的气体与真空光学分析室内的样品发生相互作用，并发射待检测光谱信号；/n所述分析室真空获取单元用于抽除真空光学室内的气体成份，维持真空光学室的真空；/n所述探测光路系统用于发射探测光源；/n所述收集...

【技术特征摘要】
1.一种气氛条件可调的光谱测量系统，其特征在于，包括中控单元，以及通过信号线缆与中控单元相连的气体注入系统、真空光学分析室、分析室真空获取单元、探测光路系统和收集光路系统；
所述中控单元用于对各个单元进行协调和控制，并通过中控单元内的控制器指令完成给定气氛条件的气体配置、光学测量和光谱采集；
所述气体注入系统用于获取设定流量或体积的气体；
所述真空光学分析室用于在给定气氛条件下使气体注入系统注入的气体与真空光学分析室内的样品发生相互作用，并发射待检测光谱信号；
所述分析室真空获取单元用于抽除真空光学室内的气体成份，维持真空光学室的真空；
所述探测光路系统用于发射探测光源；
所述收集光路系统用于收集待检测光谱，并将待检测光谱传输到真空室外部。


2.根据权利要求1所述的一种气氛条件可调的光谱测量系统，其特征在于，所述气体注入系统包括多个气源罐(1)，设置于每个气源罐(1)的出气管路上的第一气体阀门(2)，设置于每个气源罐(1)的出气管路上并位于每个第一气体阀门(2)后方的气体质量流量计(3)，与所有气源罐(1)的出气管路连通的混气罐(4)，与混气罐(4)连通的第一真空泵组(7)，设置于混气罐(4)与第一真空泵组(7)之间的第一泵组阀门(6)，设置于混气罐(4)上的第一真空计(5)和第一压力传感器，以及设置于混气罐(4)的出气端的第二气体阀门(8)；其中，所述第二气体阀门(8)另一端与真空光学分析室(10)连通，所述第一气体阀门(2)、第一真空计(5)、第一压力传感器、第一泵组阀门(6)和第一真空泵组(7)均与中控单元相连。


3.根据权利要求2所述的一种气氛...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨蕊竹，李强，吴吉良，叶小球，陈长安，饶咏初，冯春蓉，王雪峰，严俊，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院材料研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51