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本发明公开了一种气氛条件可调的光谱测量系统,主要解决现有光谱分析仪器适用范围有限,难以满足多样化测量的问题。该光谱测量系统包括中控单元,以及通过信号线缆与中控单元相连的气体注入系统、真空光学分析室、分析室真空获取单元、探测光路系统和收集光路...该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种气氛条件可调的光谱测量系统,主要解决现有光谱分析仪器适用范围有限,难以满足多样化测量的问题。该光谱测量系统包括中控单元,以及通过信号线缆与中控单元相连的气体注入系统、真空光学分析室、分析室真空获取单元、探测光路系统和收集光路...