单晶炉加热系统热回收设备技术方案

本实用新型专利技术公开一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架，机架上表面设置有安装板，安装板的上表面设置有气体过滤箱，气体过滤箱的前侧面设置有第一出气管，第一出气管与导管连接，第一出气管的外侧面设置有第三自动排气阀，导管通过弯管接头与进气接管相连，进气接管通过第一卡箍与设置在炉体的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱的左侧面通过第一进气管与设置在炉体外侧面的出气口连接，本实用新型专利技术通过对单晶炉制备晶体的工作过程中热量的收集，在单晶炉制备晶体结束后，单晶炉的冷却过程中，将收集的热量重新输送进该装置，减少能量的损失，又实现能量的再利用，提高能量的利用效率，节约能源，减少运营成本。

Heat recovery equipment of single crystal furnace heating system

【技术实现步骤摘要】
单晶炉加热系统热回收设备
本技术涉及热回收
，具体为一种单晶炉加热系统热回收设备。
技术介绍
采用单晶炉制备单晶硅过程中，通过消耗大量的电能转化为高温，现如今采用单晶炉制备单晶硅过程中所产生的大量热量，大部分情况通过排风系统排放出去，造成大量热量的损失，而未能得到有效的利用，因此造成了较大的资源浪费，而在单晶炉停炉冷却过程中，需要控制冷却温度，在这个过程中加热系统还要进行工作，在这个过程中，还有热量的损失。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种单晶炉加热系统热回收设备，通过管道对炉体中热气流的进行输送，在过滤箱中对热气流进行过滤，再通过管路将过滤后的热气流输送进炉体。为实现上述目的，本技术一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架，机架上表面设置有安装板，安装板的上表面设置有气体过滤箱，气体过滤箱的前侧面设置有第一出气管，第一出气管与导管连接，第一出气管的外侧面设置有第三自动排气阀，导管通过弯管接头与进气接管相连，进气接管通过第一卡箍与设置在炉体的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱的左侧面通过第一进气管与设置在炉体外侧面的出气口连接。进一步，机架的上表面设置有安装板，安装板的下表面设置有第一抽真空泵，第一抽真空泵的附近设置有第二抽真空泵，第一抽真空泵通过第一抽真空管与气体过滤箱相连。进一步，气体过滤箱上表面设置有四周均布有支柱，支柱的上表面固定连接集气箱，气体过滤箱上表面设置通气管且与集气箱连接，通气管的外侧面设置有第一自动排气阀。进一步，集气箱通过第二抽真空管与第二抽真空泵连接，集气箱的前侧面连接有导管，导管的附近一侧设置有第二自动排气阀，集气箱的外侧面设置有压力表。进一步，气体过滤箱的内侧面设置有耐高温过滤器，耐高温过滤器的数量为三个，三个耐高温过滤器均匀的排列在气体过滤箱的内侧面。进一步，第一抽真空泵和第二抽真空泵的输出端分别与外置电源的输入端电连接。与现有技术相比，本技术通过对单晶炉制备晶体的工作过程中热量的收集，在单晶炉制备晶体结束后，单晶炉的冷却过程中，将收集的热量重新输送进该装置，减少能量的损失，又实现能量的再利用，提高能量的利用效率，节约能源，减少运营成本。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术正视图；图3为本技术右视图。图中：1炉体、2出气口、3第一进气管、4压力表、5集气箱、6支柱、7气体过滤箱、8安装板、9机架、10第二抽真空管、11弯管接头、12第一出气管、13第三自动排气阀、14导管、15第二自动排气阀、16进气接管、17第一卡箍、18第一抽真空管、19第一自动排气阀、20第一抽真空泵、21第二抽真空泵、22耐高温过滤器。具体实施方式下面将结合实施例对本技术作进一步说明。如图1至图3所示，本技术提供一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架9，机架9上表面设置有安装板8，所述机架9的上表面设置有安装板8，安装板8的下表面设置有第一抽真空泵20，第一抽真空泵20的附近设置有第二抽真空泵21，第一抽真空泵20通过第一抽真空管18与气体过滤箱7相连，第一抽真空泵20和第二抽真空泵21在工作该过程中，对集气箱5和气体过滤箱7造成负压，便于热气流能够快速进入箱体内，安装板8的上表面设置有气体过滤箱7，所述气体过滤箱7上表面设置有四周均布有支柱6，支柱6的上表面固定连接集气箱5，气体过滤箱7上表面设置通气管且与集气箱5连接，通气管的外侧面设置有第一自动排气阀19，通过第一自动排气阀19控制热气流进入集气箱5，所述集气箱5通过第二抽真空管10与第二抽真空泵21连接，集气箱5的前侧面连接有导管14，导管14的附近一侧设置有第二自动排气阀15，集气箱5的外侧面设置有压力表4，对集气箱5中的热气流的压强进行检测，所述气体过滤箱7的内侧面设置有耐高温过滤器22，耐高温过滤器22的数量为三个，三个耐高温过滤器22均匀的排列在气体过滤箱7的内侧面，对热气流进行过滤，剔除热气流中的杂质，气体过滤箱7的前侧面设置有第一出气管12，第一出气管12与导管14连接，第一出气管12的外侧面设置有第三自动排气阀13，导管14通过弯管接头11与进气接管16相连，进气接管16通过第一卡箍17与设置在炉体1的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱7的左侧面通过第一进气管3与设置在炉体1外侧面的出气口2连接，所述第一抽真空泵20和第二抽真空泵21的输出端分别与外置电源的输入端电连接。在使用时：外置电源接通，第一抽真空泵20和第二抽真空泵21开始工作，气体过滤箱7造成负压，热气流通过第一进气管3进入气体过滤箱7，此时关闭第三自动排气阀13和第二自动排气阀15，打开第一自动排气阀19，由于第二抽真空泵21工作将集气箱5抽成负压，净化后的热气流由于压强作用，自动进入集气箱5，待单晶炉制备晶体结束，停炉后冷区后，打开第二自动排气阀15，由于集气箱5通入较多的热气流，压强较大，热气流通过管路进入炉体，从而实现热量的再利用。本技术通过对单晶炉制备晶体的工作过程中热量的收集，在单晶炉制备晶体结束后，单晶炉的冷却过程中，将收集的热量重新输送进该装置，减少能量的损失，又实现能量的再利用，提高能量的利用效率，节约能源，减少运营成本。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架(9)，其特征在于，机架(9)上表面设置有安装板(8)，安装板(8)的上表面设置有气体过滤箱(7)，气体过滤箱(7)的前侧面设置有第一出气管(12)，第一出气管(12)与导管(14)连接，第一出气管(12)的外侧面设置有第三自动排气阀(13)，导管(14)通过弯管接头(11)与进气接管(16)相连，进气接管(16)通过第一卡箍(17)与设置在炉体(1)的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱(7)的左侧面通过第一进气管(3)与设置在炉体(1)外侧面的出气口(2)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉加热系统热回收设备，包括机架(9)，其特征在于，机架(9)上表面设置有安装板(8)，安装板(8)的上表面设置有气体过滤箱(7)，气体过滤箱(7)的前侧面设置有第一出气管(12)，第一出气管(12)与导管(14)连接，第一出气管(12)的外侧面设置有第三自动排气阀(13)，导管(14)通过弯管接头(11)与进气接管(16)相连，进气接管(16)通过第一卡箍(17)与设置在炉体(1)的外侧面下端的进气口连接，气体过滤箱(7)的左侧面通过第一进气管(3)与设置在炉体(1)外侧面的出气口(2)连接。


2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热系统热回收设备，其特征在于，机架(9)的上表面设置有安装板(8)，安装板(8)的下表面设置有第一抽真空泵(20)，第一抽真空泵(20)的附近设置有第二抽真空泵(21)，第一抽真空泵(20)通过第一抽真空管(18)与气体过滤箱(7)相连。


3.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热系统热回收设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏海宁，施政，袁长路，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32