一种电机转子用旋转整流二极管及其制作工艺制造技术

本发明专利技术提供的一种电机转子用旋转整流二极管及其制作工艺，其特征在于：包括钝化层，所述钝化层为环形，钝化层的内壁上制作有合金层，钝化层的外壁上制作有管芯，所述钝化层的高度与合金层的高度相同，所述管芯的高度大于钝化层的高度。本发明专利技术采用平面钝化芯片背面焊接镀金钼片的结构，摒弃了管芯以外的笨重封装外壳，大大降低了产品的体积、重量以及高速旋转时的转动惯量，有利于电机设备的小型化，紧凑化。

A rotating rectifier diode for motor rotor and its manufacturing process

【技术实现步骤摘要】
一种电机转子用旋转整流二极管及其制作工艺
本专利技术涉及一种电机转子用旋转整流二极管及其制作工艺。
技术介绍
如图3所示，现有电机转子用旋转整流二极管通常采用DO-4、DO-5等金属封装外形，具有体积大、重量大以及转动惯量大等缺点，不利于电机设备的小型化和紧凑化。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种电机转子用旋转整流二极管及其制作工艺。本专利技术通过以下技术方案得以实现。本专利技术提供的一种电机转子用旋转整流二极管，其特征在于：包括钝化层，所述钝化层为环形，钝化层的内壁上制作有合金层，钝化层的外壁上制作有管芯，所述钝化层的高度与合金层的高度相同，所述管芯的高度大于钝化层的高度。所述钝化层为材料为聚酰亚胺。所述合金层为镀金钼片。一种电机转子用旋转整流二极管的制作工艺，其制作工艺为：①在硅衬底表面生长氧化层；②对硅衬底的氧化层上下端面进行光刻和刻蚀形成有源区窗口，然后通过固态源扩散形成PN结；③对硅衬底的氧化层内外侧进行光刻去除氧化层，然后将硅衬本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电机转子用旋转整流二极管，其特征在于：包括钝化层(3)，所述钝化层(3)为环形，钝化层(3)的内壁上制作有合金层(2)，钝化层(3)的外壁上制作有管芯(1)，所述钝化层(3)的高度与合金层(2)的高度相同，所述管芯(1)的高度大于3的高度。/n

【技术特征摘要】
1.一种电机转子用旋转整流二极管，其特征在于：包括钝化层(3)，所述钝化层(3)为环形，钝化层(3)的内壁上制作有合金层(2)，钝化层(3)的外壁上制作有管芯(1)，所述钝化层(3)的高度与合金层(2)的高度相同，所述管芯(1)的高度大于3的高度。


2.如权利要求1所述的电机转子用旋转整流二极管，其特征在于：所述3为材料为聚酰亚胺。


3.如权利要求1所述的电机转子用旋转整流二极管，其特征在于：所述2为镀金钼片。


4.一种电机转子用旋转整流二极管的制作工艺，其制作工艺为：
①在硅衬底表面生长氧化层；
②对硅衬底的氧化层上下端面进行光刻和刻蚀形成有源区窗口，然后通过固态源扩散形成PN结；
③对硅衬底的氧化层内外侧进行光刻去除氧化层，然后将硅衬底置于蒸发室内，在去除氧化层的表面形成厚度为1～3μm的蒸铝层；
④使用金属刻蚀液刻蚀硅衬底外侧的蒸铝层，刻蚀温度：50～100℃，刻蚀时间：60s～240s；后将...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光磊，袁正刚，王宏，钟俊，
申请(专利权)人：中国振华集团永光电子有限公司国营第八七三厂，
类型：发明
国别省市：贵州;52