【技术实现步骤摘要】
一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法
本专利技术涉及一种MOCVD加热器源，具体是一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，属于MOCVD加热器源应用
技术介绍
电加热器是指利用电能达到加热效果的电器；它体积小，加热功率高，使用十分广泛，采用智能控制模式，控温精度高，可与计算机联网。应用范围广，寿命长，可靠性高；加热器原理的核心的是能量转换，最广泛的就是电能转换成热能。现有一些MOCVD加热器源在维修过程中存在很多问题，如一些MOCVD加热器源在维修时，体积过大，不便于工作者进行维修，同时维修过程中，需要工作者采用其他工具进行调节MOCVD加热器源的位置进行维修，降低维修效率，影响使用。因此，针对上述问题提出一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法。本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，包括...
【技术保护点】
1.一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：包括放置板(1)、支撑腿(2)、MOCVD加热器源本体(16)、辅助支撑机构、调高机构以及转动固定机构；其中所述放置板(1)底侧固定连接有支撑腿(2)，且放置板(1)顶侧表面设有固定座(12)，且固定座(12)顶侧表面固定连接有MOCVD加热器源本体(16)；/n所述辅助支撑机构包括支撑块(14)、转动槽(1401)以及滚珠(15)，且支撑块(14)固定连接在放置板(1)顶侧表面；所述支撑块(14)顶侧表面开设有转动槽(1401)，且转动槽(1401)内转动连接有滚珠(15)；所述滚珠(15)顶端与固定座(12)底侧表面...
【技术特征摘要】
1.一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：包括放置板(1)、支撑腿(2)、MOCVD加热器源本体(16)、辅助支撑机构、调高机构以及转动固定机构；其中所述放置板(1)底侧固定连接有支撑腿(2)，且放置板(1)顶侧表面设有固定座(12)，且固定座(12)顶侧表面固定连接有MOCVD加热器源本体(16)；
所述辅助支撑机构包括支撑块(14)、转动槽(1401)以及滚珠(15)，且支撑块(14)固定连接在放置板(1)顶侧表面；所述支撑块(14)顶侧表面开设有转动槽(1401)，且转动槽(1401)内转动连接有滚珠(15)；所述滚珠(15)顶端与固定座(12)底侧表面滚动连接；
所述调节机构包括液压缸(4)、连接板(5)、电动推杆(6)以及推板(7)，且液压缸(4)固定连接在放置板(1)底侧；所述液压缸(4)输出端固定连接有连接板(5)，且连接板(5)底侧贴合有推板(7)；所述连接板(5)顶侧表面固定连接有电动推杆(6)，且电动推杆(6)输出端与推板(7)固定连接；
所述转动固定机构包括固定板(10)、紧固螺栓(11)、所述固定座(12)以及防滑纹(13)，且固定板(10)固定连接在放置板(1)顶侧表面；所述固定板(10)顶侧表面螺纹连接有紧固螺栓(11)；所述固定座(12)表面设有的防滑纹(13)贴合。
2.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述放置板(1)底侧固定连接有四个支撑腿(2)，四个所述支撑腿(2)位于放置板(1)底侧四个拐角位置处，且支撑腿(2)底端转动连接有滚轮(3)。
3.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述放置板(1)顶侧表面开设有放置槽(101)，所述放置槽(101)内固定连接有电动机(9)，所述电动机(9)输出轴末端固定连接有固定座(12)。
4.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述支撑块(14)数目为若干个，且若干个支撑块(14)在放置块表面关于电动机(9)输出轴环形分布。
5.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述电动推杆(6...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎静，陈景升，田青林，
申请(专利权)人：江苏实为半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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