温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，包括放置板、放置槽、支撑腿、滚轮、液压缸、连接板、电动推杆、推板、防滑凸块、电动机、固定板、紧固螺栓、固定座、防滑纹、支撑块、转动槽、滚珠和MOCVD加热器源本体。该种便于拆装维...
该专利属于江苏实为半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏实为半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。