一种OLED蒸镀用坩埚制造技术

本技术公开了一种OLED蒸镀用坩埚，包括一体式坩埚和坩埚支撑，所述一体式坩埚包括包括一体式坩埚本体，所述一体式坩埚本体的侧壁上设置有喷砂层；所述坩埚支撑包括坩埚支撑本体，所述坩埚支撑本体上端设置为开口，所述坩埚支撑本体的内部设置为中空结构，所述一体式坩埚本体的底部安装于坩埚支撑本体的上端，所述一体式坩埚本体的底部与坩埚支撑本体的上端之间采用固定的方式进行连接。本技术通过将分体式坩埚设置为一体式坩埚，提高了坩埚温度的均匀性，并且增加了坩埚的壁厚，使得坩埚加工时避免发生变形，也不会存在使用一段时间出现破壁的情况；同时一体式坩埚整体采用纯钛材料，提高了耐高温和耐腐蚀性能，增加坩埚使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于oled蒸镀，具体涉及一种oled蒸镀用坩埚。

技术介绍

1、oled蒸镀设备是指对oled材料进行蒸镀成膜并做成发光器件的装备，oled蒸镀是oled生产工艺环节中的重要工艺技术，是制约产能的关键因素，而在蒸镀中蒸镀坩埚是应用得较多的一个设备。

2、现有技术中的坩埚使用时存在如下问题：坩埚为分体式坩埚，小坩埚放在一体式坩埚本体里面，导致温度均匀性差切不易装配；同时坩埚壁厚较小，加工时易变形，影响使用效果，使用一段时间后也会存在破壁现象；小坩埚通常采用不锈钢材质，影响使用寿命。

3、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种oled蒸镀用坩埚，其能够解决现有的坩埚使用时存在的温度均匀性差、加工易变性和使用寿命短的问题。

2、为了实现上述目的，本技术一具体实施例提供的技术方案如下：

3、一种oled蒸镀用坩本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述喷砂层通过喷涂的方式设置在一体式坩埚本体的侧壁上。

3.根据权利要求2所述的一种OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述一体式坩埚本体的材质采用纯钛材料。

4.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述一体式坩埚本体内固定连接有多个分隔板，多个所述分隔板采用一体成型的方式方式固定连接于一体式坩埚本体内。

5.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述一体式坩埚本体的上端一体成型有连接口，所述连接口上...

【技术特征摘要】

1.一种oled蒸镀用坩埚，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种oled蒸镀用坩埚，其特征在于，所述喷砂层通过喷涂的方式设置在一体式坩埚本体的侧壁上。

3.根据权利要求2所述的一种oled蒸镀用坩埚，其特征在于，所述一体式坩埚本体的材质采用纯钛材料。

4.根据权利要求1所述的一种oled蒸镀用坩埚，其特征在于，所述一体式坩埚本体内固定连接有多个分隔板，多个所述分隔板采用一体成型的方式方式固定连接于一体式坩埚本体内。

5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏鹏，黎静，
申请(专利权)人：江苏实为半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：