极片蒸镀设备制造技术

本申请涉及电池加工技术领域，尤其涉及极片蒸镀设备，极片蒸镀设备包括箱体和蒸镀组件，箱体内形成有真空室，蒸镀组件设置于真空室内，蒸镀组件包括蒸发盘、膜厚检测装置和调节机构，蒸发盘内设置有蒸发物，蒸发盘用于将蒸发物蒸镀到极片上；膜厚检测装置为多个，分别用于检测极片不同位置的镀膜厚度；调节机构设置于箱体内壁，与蒸发盘连接，用于调整蒸发盘与极片的相对位置。本申请能够基于膜厚检测装置的检测结果，调整蒸发盘与极片的相对位置，使蒸发盘向镀膜较薄的位置倾斜，从而有利于保持极片表面的镀膜厚度保持均匀一致，提高极片的质量，还能够实现对极片的正面和反面依次、连续地进行真空蒸镀操作。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电池加工，尤其涉及极片蒸镀设备。

技术介绍

1、真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

2、蒸镀技术广泛应用于太阳能技术中，锂电中蒸镀技术应用比较少，主要原因是极片蒸镀批量生产设备不成熟，在蒸镀过程中存在蒸镀不均匀、厚度控制不精准等问题。

技术实现思路

1、本申请提供一种极片蒸镀设备，用以解决现有技术中极片蒸镀的镀膜厚度不均匀的问题。

2、本申请提供一种极片蒸镀设备，包括：

3、箱体，箱体内形成有真空室；

4、蒸镀组件，设置于真空室内，蒸镀组件包括：

5、蒸发盘，蒸发盘内设置有蒸发物，蒸发盘用于将蒸发物蒸镀到极片上；

6、膜厚检测装置，为多个，分别用于检测极片不同位置的镀膜厚度；

7、调节机构，设置于箱体内壁，与蒸发盘连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种极片蒸镀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的极片蒸镀设备，其特征在于，所述调节机构还包括：

3.根据权利要求1或2所述的极片蒸镀设备，其特征在于：所述膜厚检测装置为膜厚测试仪。

4.根据权利要求1或2所述的极片蒸镀设备，其特征在于：所述蒸发盘上间隔设置有多个蒸发皿，所述蒸发皿与所述蒸发盘可拆卸连接，所述蒸发皿用于装盛所述蒸发物。

5.根据权利要求1或2所述的极片蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀组件还包括挡板，所述挡板设置于所述极片与所述蒸发盘之间，用于遮挡所述极片靠近两侧边缘的区域。

6.根据权利要求5所述的...

【技术特征摘要】

1.一种极片蒸镀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的极片蒸镀设备，其特征在于，所述调节机构还包括：

3.根据权利要求1或2所述的极片蒸镀设备，其特征在于：所述膜厚检测装置为膜厚测试仪。

4.根据权利要求1或2所述的极片蒸镀设备，其特征在于：所述蒸发盘上间隔设置有多个蒸发皿，所述蒸发皿与所述蒸发盘可拆卸连接，所述蒸发皿用于装盛所述蒸发物。

5.根据权利要求1或2所述的极片蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀组件还包括挡板，所述挡板设置于所述极片与所述蒸发盘之间，用于遮挡所述极片靠近两侧边缘的区域。

【专利技术属性】
技术研发人员：郑晓醒，江卫军，韩佳桐，郭丰，盛杰，高飞，张放南，
申请(专利权)人：蜂巢能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：