下载极片蒸镀设备的技术资料

文档序号:45901901

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本申请涉及电池加工技术领域,尤其涉及极片蒸镀设备,极片蒸镀设备包括箱体和蒸镀组件,箱体内形成有真空室,蒸镀组件设置于真空室内,蒸镀组件包括蒸发盘、膜厚检测装置和调节机构,蒸发盘内设置有蒸发物,蒸发盘用于将蒸发物蒸镀到极片上;膜厚检测装置为多...
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