【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD加热器源及其操作方法
本专利技术涉及一种MOCVD加热器源及其操作方法，属于MOCVD加热器应用
技术介绍
电加热器是指利用电能达到加热效果的电器；它体积小，加热功率高，使用十分广泛，采用智能控制模式，控温精度高，可与计算机联网；应用范围广，寿命长，可靠性高；加热器原理的核心的是能量转换，最广泛的就是电能转换成热能。现有的MOCVD加热器源可能缺少导热的结构，对热量的利用较差，对物品的加热可能不均匀，从而使物品出现受热不均的现象，同时，一般加热器通过螺栓实现安装，拆、装较为不便。因此，针对上述问题提出一种MOCVD加热器源及其操作方法。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种MOCVD加热器源及其操作方法。本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源，包括安装板、承载板以及固定安装在承载板顶部的MOCVD加热器，所述安装板和承载板之间设置有两个平行设置的安装结构；所述MOCVD加热器的顶部设置有...
【技术保护点】
1.一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源，其特征在于：包括安装板(1)、承载板(11)以及固定安装在承载板(11)顶部的MOCVD加热器(12)，所述安装板(1)和承载板(11)之间设置有两个平行设置的安装结构；/n所述MOCVD加热器(12)的顶部设置有导热结构，所述导热结构和MOCVD加热器(12)套接有保温罩(13)；/n所述保温罩(13)顶部设置有可翻转的顶盖(16)，所述顶盖(16)的一侧通过铰链(18)与保温罩(13)顶部一侧连接，所述顶盖(16)与保温罩(13)之间安装有若干个搭扣锁(23)，所述顶盖(16)设置有排气结构，所述排气结构顶部设置有过滤结构...
【技术特征摘要】
1.一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源，其特征在于：包括安装板(1)、承载板(11)以及固定安装在承载板(11)顶部的MOCVD加热器(12)，所述安装板(1)和承载板(11)之间设置有两个平行设置的安装结构；
所述MOCVD加热器(12)的顶部设置有导热结构，所述导热结构和MOCVD加热器(12)套接有保温罩(13)；
所述保温罩(13)顶部设置有可翻转的顶盖(16)，所述顶盖(16)的一侧通过铰链(18)与保温罩(13)顶部一侧连接，所述顶盖(16)与保温罩(13)之间安装有若干个搭扣锁(23)，所述顶盖(16)设置有排气结构，所述排气结构顶部设置有过滤结构，所述过滤结构上安装有把手。
2.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源，其特征在于：所述安装结构包括双端伸缩杆以及两个固定套(9)，两个所述固定套(9)设置在双端伸缩杆的两端，且双端伸缩杆和固定套(9)均与安装板(1)固接，所述固定套(9)内部套接有嵌合柱(10)，且嵌合柱(10)与承载板(11)底部固接，所述嵌合柱(10)底部设置有第二弹簧(8)，所述固定套(9)和嵌合柱(10)的水平方向开有通孔，所述双端伸缩杆的两端与通孔配合连接。
3.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源，其特征在于：所述双端伸缩杆包括固定管(3)以及固定安装在固定管(3)两端的导向环(5)，所述固定管(3)通过固定条(2)与安装板(1)固接，所述固定管(3)内壁套接有活动铁杆(6)，所述活动铁杆(6)与导向环(5)的一侧通过第一弹簧(7)弹性连接，所述固定管(3)中部固定安装有电磁铁(4)。
4.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源，其特征在于：所述活动铁杆(6)套接有第一弹簧(7)，所述第一弹簧(7)位于固定管(3)内部，且第一弹簧(7)两端分别与活动铁杆(6)表面以及导向环(5)一侧固接。
5.根据权利要求1所述的一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源，其特征在于：所述导热结构包括高导热陶瓷片(14)和金属导热罩(15)，所述金属导热罩(15)固定安装在高导热陶瓷片(14)顶部，且高导热陶瓷片(14)底部与MOCVD加热器(12)顶部固接，所述高导热陶瓷片(14)的顶部设置有若干个第一导热凸起(1401)，所述金属导热罩(15)的底部设置有若干个第二导热凸起(1501)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：黎静，陈景升，田青林，
申请(专利权)人：江苏实为半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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