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本发明公开了一种MOCVD加热器源及其操作方法，包括安装板、固定条、固定管、电磁铁、导向环、活动铁杆、第一弹簧、第二弹簧、固定套、嵌合柱、承载板、MOCVD加热器、保温罩金属外壳、石棉填充层、高导热陶瓷片、第一导热凸起、金属导热罩、第二导热...
该专利属于江苏实为半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏实为半导体科技有限公司授权不得商用。

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