【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】金属氟氧化物的处理方法及清洁方法
本专利技术涉及使金属氟氧化物MO(6-x)/2Fx(0＜x＜6、M＝W或Mo)与含氟气体进行化学反应而转换为MF6的处理方法及使用该处理方法去除金属氟氧化物(metaloxyfluorides)的沉积物等的清洁方法。
技术介绍
作为化学气相沉积钨(W)及钨化合物、钼(Mo)或钼化合物时的前体，已知有六氟化钨或六氟化钼。作为这些前体的工业制造方法，已知有如反应式(1-1)～(1-2)、反应式(2-1)～(2-2)所示，使金属钨与氟或三氟化氮、使金属钼与氟或三氟化氮接触的方法。W(s)+3F2(g)→WF6(g)反应式(1-1)W(s)+2NF3(g)→WF6(g)+N2(g)反应式(1-2)Mo(s)+3F2(g)→MoF6(g)反应式(2-1)Mo(s)+2NF3(g)→MoF6(g)+N2(g)反应式(2-2)六氟化钨与六氟化钼在工业制造方法中使用了金属钨或金属钼，但在金属钨或金属钼中包含氧化物、及表面氧化物作为杂质，原料的氟或三氟化氮与这些氧化物反...
【技术保护点】
1.一种金属氟氧化物的处理方法，其特征在于，使通式MO
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170714 JP 2017-1377651.一种金属氟氧化物的处理方法，其特征在于，使通式MO(6-x)/2Fx所示的金属氟氧化物于0℃以上且不足400℃的温度下与含氟气体接触，通过化学反应转换为通式MF6所示的六氟化金属，其中，MO(6-x)/2Fx：0＜x＜6、M＝W或Mo；MF6：M＝W或Mo。
2.根据权利要求1所述的金属氟氧化物的处理方法，其特征在于，所述含氟气体为选自由F2气体、NF3气体、ClF3气体、及IF7气体所组成的组中的至少一种气体。
3.根据权利要求1或2所述的金属氟氧化物的处理方法，其特征在于，所述反应温度为10℃以上且200℃以下。
4.根据权利要求1所述的金属氟氧化物的处理方法，其特征在于，所述含氟气体为选自由F2气体、NF3气体、ClF3气体...
【专利技术属性】
技术研发人员：长友真圣，八尾章史，
申请(专利权)人：中央硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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