【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机的冷却系统
本技术涉及真空镀膜机的
，尤其是涉及一种真空镀膜机的冷却系统。
技术介绍
真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制造的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、望远镜、显示技术、半导体激光、微机电系统、各种滤光片、建筑玻璃、汽车工业、眼镜片等等，镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。在使用真空镀膜设备制备薄膜材料时，由于必须达到一定的真空度时才可以进行镀膜过程，普遍采用油扩散泵来实现真空镀膜的真空条件。冷却系统是保证油扩散泵正常工作的重要条件，在真空镀膜装置上也是一个极为重要的系统。现检索到一篇公布号为CN208008874U的中国技术专利公开了一种真空镀膜机冷却装置，包括：机体、金属导热管、进水管、出水管、散热板和散热风扇，该装置能够提高灌输到金属导热管内部的冷却液的利用率，具有较好的冷却降温效果，便于实际使用。上述中的现有技术方案存在以下缺陷：真空镀膜机在进行不同的镀膜工作时，真空镀膜机腔体内所需要的降温量是不一样的，上...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体(1)和热交换管道组，其特征在于：/n所述热交换管道组布设于真空镀膜机腔体(1)内侧壁上，所述冷却系统还包括：出水温度检测装置(3)、进水流量控制装置、控制器(5)和出水管(61)，所述热交换管道组设置有进水口(21)和出水口(22)，所述出水管(61)与所述出水口(22)相连通，所述进水流量控制装置与所述进水口(21)相连通，所述出水温度检测装置(3)固定连接在所述出水管(61)的内壁上，/n所述出水温度检测装置(3)用于检测从所述出水口(22)中流出水的温度，所述进水流量控制装置用于控制进入所述进水口(21)处的进水流量大...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体(1)和热交换管道组，其特征在于：
所述热交换管道组布设于真空镀膜机腔体(1)内侧壁上，所述冷却系统还包括：出水温度检测装置(3)、进水流量控制装置、控制器(5)和出水管(61)，所述热交换管道组设置有进水口(21)和出水口(22)，所述出水管(61)与所述出水口(22)相连通，所述进水流量控制装置与所述进水口(21)相连通，所述出水温度检测装置(3)固定连接在所述出水管(61)的内壁上，
所述出水温度检测装置(3)用于检测从所述出水口(22)中流出水的温度，所述进水流量控制装置用于控制进入所述进水口(21)处的进水流量大小，所述出水温度检测装置(3)、所述进水流量控制装置均与所述控制器(5)电性连接，
所述出水温度检测装置(3)将检测到的实时出水温度值传递给所述控制器(5)，所述控制器(5)内预设置有基准出水温度值以与接收到的实时出水温度值进行比较，并根据比较结果去控制所述进水流量控制装置工作，以增大或者缩小进水流量。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：
所述出水温度检测装置(3)包括：安装座(31)和多个温度传感器(32)，所述安装座(31)固定连接在所述出水管(61)的内侧壁上，多个所述温度传感器(32)均匀间隔设置在所述安装座(31)上。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的冷却系统，其特征在于：
所述进水流量控制装置包括：第一进水箱(41)、第二进水箱(42)、第一进水管(43)、第二进水管(44)、第三进水管(45)、电子三向阀(46)和电动调节阀(47)，所述电子三向阀(46)的三个开口分别与所述第一进水管(43)、所述第二进水管(44)、所述第三进水管(45)相连通，所述第一进水管(43)远离所述电子三向阀(46)的一端连通所述第一进水箱(41)，所述第二进水管(44)远离所述电子三向阀(46)的一端连通所述第二进水箱(42)，所述第三进水管(45)远离所述电子三向阀(46)的一端与所述进水口(21)连通，所述电动调节阀(47)设于所述第三进水管(45)上，
所述第一进水箱(41)内水的温度为11-20摄氏度，所述第二进水箱(42)内...
【专利技术属性】
技术研发人员：张德军，
申请(专利权)人：深圳市创基真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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