温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种真空镀膜机的冷却系统，包括真空镀膜机腔体、热交换管道组、出水温度检测装置、进水流量控制装置、控制器和出水管，热交换管道组设置有进水口和出水口，出水管与出水口相连通，进水流量控制装置与进水口相连通，出水温度检测装置用于检测从...
该专利属于深圳市创基真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市创基真空科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。