【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置和方法
本专利技术属于半导体激光器
,具体涉及一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置和方法。
技术介绍
在半导体激光器
中,半导体激光器芯片的器件在生产制造过程中,需保证从晶圆解条处理设备中取出的Bar条从蓝膜上剥离后转运过程中电极P面、电极N面方向一致,同时需要电极P面朝上放置,否则会导致Bar条在进行后面的夹条镀膜工艺时,需要纯手工进行Bar条的重新摆放而无法标准化、操作效率低、难度高、Bar条易划伤而导致良率大幅降低的技术问题。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的不足,本专利技术的目的是提供一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置和方法,能够保证转运时Bar条电极面方向一致、不混乱,且吸附牢固、取放Bar条便捷、转移Bar条安全性能好,操作难度低,操作成本和时间成本低,工艺过程良率高。为实现上述目的,本专利技术的技术方案为一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置,包括Bar条吸盘、Bar条收纳盒和Bar条转移夹具;所 ...
【技术保护点】
1.一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置,其特征在于:包括Bar条吸盘、Bar条收纳盒和Bar条转移夹具;所述Bar条转移夹具包括基座和盖板;所述Bar条吸盘设置于所述盖板上,所述Bar条收纳盒设置于所述基座上,所述Bar条收纳盒与所述Bar条吸盘对应设置。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置,其特征在于:包括Bar条吸盘、Bar条收纳盒和Bar条转移夹具;所述Bar条转移夹具包括基座和盖板;所述Bar条吸盘设置于所述盖板上,所述Bar条收纳盒设置于所述基座上,所述Bar条收纳盒与所述Bar条吸盘对应设置。
2.如权利要求1所述的一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置,其特征在于:所述Bar条转移夹具还包括用于实现所述盖板相对于所述基座的打开和合拢的铰接机构,所述基座的一端与所述盖板的一端通过铰接机构铰接。
3.如权利要求1所述的一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置,其特征在于:所述Bar条吸盘上设有用于吸附解条后的多根Bar条的多个条形真空吸附孔。
4.如权利要求3所述的一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置,其特征在于:多个条形真空吸附孔平行等间距设置于所述Bar条吸盘背离所述盖板的一面上。
5.如权利要求3所述的一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置,其特征在于:所述装置还包括气流分配器,所述气流分配器为圆柱形,且所述气流分配器的一端用于连接外部真空气流,另一端设有多个第一螺纹孔,各所述第一螺纹孔均通过真空气管与所述多个条形真空吸附孔连通。
6.如权利要求1所述的一种半导体激光器条形Bar的剥离及转运的装置,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:黎浩,陈锋,许海明,
申请(专利权)人:湖北光安伦科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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