可熔融加工的氟树脂模塑制品制造技术

本发明专利技术提供了模塑后具有减少的金属离子(洗脱的金属离子)和亚微米尺寸的细颗粒的可熔融加工的氟树脂模塑制品。可熔融加工的氟树脂模塑制品具有在60℃下使用12％硝酸洗脱20小时后，通过ICP(感应耦合等离子体)质量分析方法进行定量分析的洗脱的Ni离子的量(以pg/cm

Fusible fluororesin molding products

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可熔融加工的氟树脂模塑制品相关申请的交叉引用本申请要求以下申请的优先权：2018年6月5日提交的日本专利申请号JP2018-107956(参考号AP377(p))；和2017年6月23日提交的日本专利申请号JP2017-123485(参考号AP377)，其公开内容全文以引用方式并人本文。
本专利技术涉及具有减少的金属离子(洗脱的金属离子)和细颗粒的可熔融加工的氟树脂模塑制品。更具体地，本专利技术涉及用于半导体制造设备中的可熔融加工的氟树脂模塑制品，其具有减少的金属离子(洗脱的金属离子)和亚微米尺寸的细颗粒，在用于液体转移的模塑制品和/或用于液体接触的模塑制品中使用。
技术介绍
氟树脂表现出优异的特性，诸如耐热性、耐化学品性、高频电特性、非粘着特性、阻燃性等，因此广泛用于诸如酸、碱等的化学品，溶剂，油漆等的运输管道，化学工业制造制品诸如化学储存容器，罐等，以及电气工业制品诸如管、辊、电线等中。具体地，由于这些特性，可熔融加工的氟树脂模塑制品常常用于半导体制造设备中。在半导体制造领域，随着半导体装置的电路图案的小型化、压实、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可熔融加工的氟树脂模塑制品，其中在60℃下使用12％硝酸洗脱20小时后，通过ICP(感应耦合等离子体)质量分析方法进行定量分析的测试溶液中以pg/cm

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170623 JP 2017-123485;20180605 JP 2018-1079561.一种可熔融加工的氟树脂模塑制品，其中在60℃下使用12％硝酸洗脱20小时后，通过ICP(感应耦合等离子体)质量分析方法进行定量分析的测试溶液中以pg/cm2计的洗脱的Ni离子的量和以pg/cm2计的洗脱的Cr离子的量以及以pg/cm2计的洗脱的Mo离子的量满足下式：0.5≤1-[(M1+M2)/(M1+M2+M3)]＜1，其中M1是指以pg/cm2计的洗脱的Cr离子量，M2是指以pg/cm2计的洗脱的Mo离子量，并且M3是指以pg/cm2计的洗脱的Ni离子量。


2.根据权利要求1所述的可熔融加工的氟树脂模塑制品，其中在60℃下使用12％硝酸洗脱20小时后，并通过ICP(感应耦合等离子体)质量分析方法进行定量分析的所述测试溶液中以pg/cm2计的所述洗脱的Mo离子的量为250pg/cm2或更少。


3.根据权利要求1或2所述的可熔融加工的氟树脂模塑制品，其中通过离子色谱法、ICP(感应耦合等离子体)质量分析方法和TOF-SIMS方法中的任一种均未检测到阴离子和阳离子。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的可熔融加工的氟树脂模塑制品，其中根据规范中指定的液体测量方法中的细颗粒进行测量的细颗粒为0至5000个颗粒/mL，作为1小时的测量的总和。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的可熔融加工的氟树脂模塑制品，其中通过流动电势法测量的所述模塑制品的表面的ζ电势为-50mV或更低。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的可熔融加工的氟树脂模塑制品，其中通过可熔融加工的氟树脂的所述流动电势法测量的所述ζ电势为-50mV或更低。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的可熔融加工的氟树脂模塑制品，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢部洋正，西村卓浩，
申请(专利权)人：科慕·三井氟产品株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP