压力传感器制造技术

提供一种高灵敏度的压力传感器，其能够减小输出值的迟滞，并且能够用保护膜可靠地覆盖并保护表面。该压力传感器具备具有压敏部(11)的膜片(3)。压敏部(11)通过在下表面(11a)(表面和背面中的一个)形成凹部(13)而分成厚度厚的区域(B)和薄的区域。在压敏部(11)的厚度厚的区域(B)，即在未形成有凹部(13)的上表面(11b)，设有包括压阻元件的传感器应变片(21)。

Pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
压力传感器
本专利技术涉及具有压阻元件的压力传感器。
技术介绍
压阻式压力传感器具备：膜片，其构成压力腔的壁的一部分；以及传感器应变片，其由设置于该膜片的压阻元件构成。在该压力传感器中，检测膜片周围部产生的应力变化作为传感器应变片的电阻值变化。在该压力传感器中，为了提高灵敏度，通过增大膜片的纵横比(直径/厚度)从而增大产生的应力是有效手段。通过上述手段提高灵敏度时，优选增大整个膜片的纵横比。但是，例如，如专利文献1所述，也可以通过使膜片的局部厚度小于其它部分而增大膜片局部的纵横比来实现。专利文献1公开的压力传感器具有：硅基板，其具有作为压力腔的凹陷部；以及膜片，其与硅基板接合而封闭凹陷部的开口部分。为了提高灵敏度，在该膜片的压敏部设有凹部。该凹部形成为在压敏部的表面和背面中与硅基板相反的表面上产生高度差的形状。通过这样形成凹部，可以在压敏部局部形成厚度薄的区域，从而提高灵敏度。该压力传感器的压阻元件与上述凹部一起设置于压敏部的上述表面。一般来说，膜片设有压阻元件的表面往往被氧化膜覆盖。现有技术文献本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，/n具备具有压敏部的膜片，/n所述压敏部通过在表面和背面中的一个上形成第一凹部而分成厚度厚的区域和厚度薄的区域，/n在所述压敏部的厚度厚的区域，即在表面和背面中未形成所述第一凹部的面上，设有包括压阻元件的传感器应变片。/n

【技术特征摘要】
20180727 JP 2018-1417681.一种压力传感器，其特征在于，
具备具有压敏部的膜片，
所述压敏部通过在表面和背面中的一个上形成第一凹部而分成厚度厚的区域和厚度薄的区域，
在所述压敏部的厚度厚的区域，即在表面和背面中未形成所述第一凹部的面上，设有包括压阻元件的传感器应变片。


2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，
从所述膜片的厚度方向观察，所述厚度厚的区域形成为连结所述压敏部的中心与远离所述中心的多个端部的形状，
从所述膜片的厚度方向观察，所述多个端部形成为大于所述传感器应变片的形成范围，
所述传感器应变片分别设置于所述多个端部。...

【专利技术属性】
技术研发人员：东条博史，德田智久，木田希，
申请(专利权)人：阿自倍尔株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP