下载压力传感器的技术资料

文档序号:23312921

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提供一种高灵敏度的压力传感器,其能够减小输出值的迟滞,并且能够用保护膜可靠地覆盖并保护表面。该压力传感器具备具有压敏部(11)的膜片(3)。压敏部(11)通过在下表面(11a)(表面和背面中的一个)形成凹部(13)而分成厚度厚的区域(B)和...
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