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压力传感器制造技术
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下载压力传感器的技术资料
文档序号:23312921
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提供一种高灵敏度的压力传感器,其能够减小输出值的迟滞,并且能够用保护膜可靠地覆盖并保护表面。该压力传感器具备具有压敏部(11)的膜片(3)。压敏部(11)通过在下表面(11a)(表面和背面中的一个)形成凹部(13)而分成厚度厚的区域(B)和...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。
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