一种光阻剥离液废液回收系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种光阻剥离液废液回收系统，它包括：一级精馏组件，所述一级精馏组件包括精馏塔体、设置在所述精馏塔体底部的精馏塔釜、底部与所述精馏塔顶部相连通的脱水塔、与所述脱水塔顶部相连通的冷却器以及与所述冷却器相连通的冷却液收集罐；剥离液浓缩罐，所述剥离液浓缩罐通过第一提升泵与所述精馏塔釜相连通；剥离液缓冲罐，所述剥离液缓冲罐通过第二提升泵与所述精馏塔釜相连通，用于承接剥离液废液并通过所述第二提升泵输送至所述精馏塔釜内；树脂吸收组件；成品配制组。这样能够有效实现对光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺的回收利用，而且获得的二甲基亚砜、乙醇胺成品质量较优，简单调配后能够直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。

A waste liquid recovery system of photoresist stripping liquid

【技术实现步骤摘要】
一种光阻剥离液废液回收系统
本技术属于光阻剥离液废液回收领域，涉及一种回收系统，具体涉及一种光阻剥离液废液回收系统。
技术介绍
在硅基材料制造工艺中，通常先在二氧化硅、Cu等材料表面上形成光阻的涂层，利用适当的掩模进行曝光、显影，根据所用光阻的特性，除去曝光或者未曝光部分的光阻，在所要求的部位形成光阻图案，然后在该光阻图案上进行等离子刻蚀或反应性气体刻蚀，进行图形转移。光阻剥离液用于将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光阻除去，它是硅基材料晶片进行光阻化学清洗过程所需的常用化学品，主要由有机胺、极性有机溶剂和/或水等组成。光阻剥离液使用后产生的废水中含量大量的有机溶剂(如二甲基亚砜、乙醇胺等)，如果直接排放会对环境产生极大的破坏；如果直接委外，无法对其进行有效利用，无形中增加了企业的生产成本。
技术实现思路
本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种光阻剥离液废液回收系统。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种光阻剥离液废液回收系统，它包括：一级精馏组件，所述一级精馏组件包括精馏塔体、设置在所述精馏塔体底部的精馏塔釜、底部与所述精馏塔体顶部相连通的脱水塔、与所述脱水塔顶部相连通的冷却器以及与所述冷却器相连通的冷却液收集罐；剥离液浓缩罐，所述剥离液浓缩罐通过第一提升泵与所述精馏塔釜相连通；剥离液缓冲罐，所述剥离液缓冲罐通过第二提升泵与所述精馏塔釜相连通，用于承接剥离液废液并通过所述第二提升泵输送至所述精馏塔釜内；树脂吸收组件，所述树脂吸收组件通过第三提升泵与所述冷却液收集罐相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；成品配制组件，所述成品配制组件包括与所述树脂吸收组件相连通的馏分收集罐。优化地，所述成品配制组件还包括与所述馏分收集罐相连通的混配罐、与所述混配罐相连通的第一原料罐以及与所述混配罐相连通的第二原料罐。进一步地，所述成品配制组件还包括安装在所述馏分收集罐上的第一在线浓度检测仪以及安装在所述混配罐上的第二在线浓度检测仪。优化地，所述树脂吸收组件包括与所述第三提升泵相连通的阳离子交换树脂塔以及与所述阳离子交换树脂塔底部相连通的阴离子交换树脂塔，所述阴离子交换树脂塔与所述馏分收集罐相连接。优化地，所述剥离液浓缩罐还与下游的废液处理罐相连通。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：本技术光阻剥离液废液回收系统，通过对光阻剥离液废液进行精馏浓缩、树脂吸附、成品配制等操作，这样能够有效实现对光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺的回收利用，而且获得的二甲基亚砜、乙醇胺成品质量较优，简单调配后能够直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。附图说明图1为本技术光阻剥离液废液回收系统的结构示意图。具体实施方式下面结合附图所示的实施例对本技术作进一步描述。如图1所示的光阻剥离液废液回收系统，主要包括一级精馏组件1、剥离液浓缩罐2、剥离液缓冲罐3、树脂吸收组件4和成品配制组件5等。其中，一级精馏组件1包括精馏塔体11、精馏塔釜12、脱水塔13、冷却器14和冷却液收集罐15等结构；精馏塔体11可以是一个或多个(当精馏塔体11是多个时，它们依次串接而有利于提高精馏的纯度)，每个精馏塔体11包含多个通过法兰盘依次连接的塔节；精馏塔釜12通常设置在精馏塔体11的底部以为精馏传质传热提供动力(即通过对精馏塔釜12内的物质进行加热，从而产生精馏塔内气液两相中的气相，气相与下降的液相接触，从而实现传质传热的过程)；脱水塔13的底部与精馏塔体11的顶部通常通过管道(下同)相连通，脱水塔13内填充有分子筛以用于除去剥离液中的水份；冷却器14通过管道与脱水塔13的顶部相连通，用于冷却精馏后的剥离液组分；冷却液收集罐15则通过管道与冷却器14相连通，用于承接经冷却器14处理后的剥离液组分(即冷却液)。剥离液浓缩罐2通过第一提升泵21与精馏塔釜12相连通(各设备的连通也是通过管道实现的，下同)，它通常还与下游的废液处理罐相连通，以用于承接精馏塔釜12内产生的剥离液浓缩液，这样当剥离液浓缩罐2中浓缩液达到一定的量时直接导入废液处理罐中委外处理。剥离液缓冲罐3通过第二提升泵31与精馏塔釜12相连通，直接用于承接剥离液废液并通过第二提升泵31输送至精馏塔釜12内，以将承接的剥离液废液进行精馏处理。树脂吸收组件4通过第三提升泵40与冷却液收集罐15相连通，用于对从冷却液收集罐15中导出的冷却液进行离子吸附处理，从而去除冷却液中的阴、阳离子以提高其质量和纯度。成品配制组件5包括与树脂吸收组件4相连通的馏分收集罐51，用于承接经树脂吸收组件4处理后的馏分(通常是二甲基亚砜、乙醇胺的混合物)。在本实施例中，成品配制组件5还包括与馏分收集罐51相连通的混配罐55、与混配罐55相连通的第一原料罐53以及与混配罐55相连通的第二原料罐54(第一原料罐53和第二原料罐54分别用于盛放二甲基亚砜、乙醇胺)，这样馏分收集罐51中的馏分(经测定馏分组成)可以与第一原料罐53、第二原料罐54中的原料进行复配而存至混配罐55中，直接作为光阻剥离液使用，上述的复配过程可以是人工进行。更优选采用自动化控制的方式进行，此时成品配制组件5还可以包括安装在馏分收集罐51上的第一在线浓度检测仪52(即折光仪，如市售的TY-100A、PRM-100α等，下同)以及安装在混配罐55上的第二在线浓度检测仪56(第一在线浓度检测仪52和第二在线浓度检测仪56通过测量溶液折射率(nD)这一光学参数实现液体中溶解物浓度的测量)；此时可以将第一在线浓度检测仪52、第二在线浓度检测仪56与同一单片机(如市售的ULN2003芯片)相连接(混配罐55与第一原料罐53、第二原料罐54、馏分收集罐51之间分别连接有入料泵)，该单片机还分别与上述的入料泵相连接以控制其启闭或开度，这样单片机可以接收第一在线浓度检测仪52、第二在线浓度检测仪56发送的信号而控制各入料泵的是否工作，从而实现光阻剥离液的自动化配制。在本实施例中，树脂吸收组件4包括与第三提升泵40相连通的阳离子交换树脂塔41以及与阳离子交换树脂塔41底部相连通的阴离子交换树脂塔42，使得阴离子交换树脂塔42与馏分收集罐51相连接，以提高对馏分中各离子的吸附效果。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光阻剥离液废液回收系统，其特征在于，它包括：/n一级精馏组件(1)，所述一级精馏组件(1)包括精馏塔体(11)、设置在所述精馏塔体(11)底部的精馏塔釜(12)、底部与所述精馏塔体(11)顶部相连通的脱水塔(13)、与所述脱水塔(13)顶部相连通的冷却器(14)以及与所述冷却器(14)相连通的冷却液收集罐(15)；/n剥离液浓缩罐(2)，所述剥离液浓缩罐(2)通过第一提升泵(21)与所述精馏塔釜(12)相连通；/n剥离液缓冲罐(3)，所述剥离液缓冲罐(3)通过第二提升泵(31)与所述精馏塔釜(12)相连通，用于承接剥离液废液并通过所述第二提升泵(31)输送至所述精馏塔釜(12)内；/n树脂吸收组件(4)，所述树脂吸收组件(4)通过第三提升泵(40)与所述冷却液收集罐(15)相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；/n成品配制组件(5)，所述成品配制组件(5)包括与所述树脂吸收组件(4)相连通的馏分收集罐(51)。/n

【技术特征摘要】
1.一种光阻剥离液废液回收系统，其特征在于，它包括：
一级精馏组件(1)，所述一级精馏组件(1)包括精馏塔体(11)、设置在所述精馏塔体(11)底部的精馏塔釜(12)、底部与所述精馏塔体(11)顶部相连通的脱水塔(13)、与所述脱水塔(13)顶部相连通的冷却器(14)以及与所述冷却器(14)相连通的冷却液收集罐(15)；
剥离液浓缩罐(2)，所述剥离液浓缩罐(2)通过第一提升泵(21)与所述精馏塔釜(12)相连通；
剥离液缓冲罐(3)，所述剥离液缓冲罐(3)通过第二提升泵(31)与所述精馏塔釜(12)相连通，用于承接剥离液废液并通过所述第二提升泵(31)输送至所述精馏塔釜(12)内；
树脂吸收组件(4)，所述树脂吸收组件(4)通过第三提升泵(40)与所述冷却液收集罐(15)相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；
成品配制组件(5)，所述成品配制组件(5)包括与所述树脂吸收组件(4)相连通的馏分收集罐(51)。


2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋新，吴鹏珍，田丹女，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32