一种光阻剥离液废液回收配液装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种光阻剥离液废液回收配液装置，它包括：剥离液收集罐，蒸发器，所述蒸发器通过第一循环泵与所述剥离液收集罐相连通；废液排出机构，所述废液排出机构与所述蒸发器底部相连通以用于承接其内的浓缩液；脱水塔，所述脱水塔与所述蒸发器顶部相连通，用于除去馏分中的水份；冷却机构，所述冷却机构与所述脱水塔相连接，用于冷却馏分；树脂吸收组件；成品配制组件。这样能够有效将光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺蒸出并经除水、冷却后储存，对应配置后可直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。

A liquid preparation device for recovery of photoresist stripping liquid waste

The utility model relates to a light resistance stripping liquid waste liquid recovery and distribution device, which comprises a stripping liquid collection tank and an evaporator, wherein the evaporator is connected with the stripping liquid collection tank through a first circulation pump; a waste liquid discharge mechanism, wherein the waste liquid discharge mechanism is connected with the bottom of the evaporator to undertake the concentrated liquid in the evaporator; a dehydration tower, wherein the dehydration tower and the evaporator are connected The top is connected to remove the water in the fraction; the cooling mechanism is connected with the dehydration tower to cool the fraction; resin absorption component; finished product preparation component. In this way, DMSO and ethanolamine in the waste liquid of photoresist stripping liquid can be effectively evaporated and stored after water removal and cooling, and can be directly used after corresponding configuration, which is conducive to reducing costs and improving the use efficiency of stripping liquid.

【技术实现步骤摘要】
一种光阻剥离液废液回收配液装置
本技术属于光阻剥离液废液回收领域，涉及一种回收配液装置，具体涉及一种光阻剥离液废液回收配液装置。
技术介绍
在硅基材料制造工艺中，通常先在二氧化硅、Cu等材料表面上形成光阻的涂层，利用适当的掩模进行曝光、显影，根据所用光阻的特性，除去曝光或者未曝光部分的光阻，在所要求的部位形成光阻图案，然后在该光阻图案上进行等离子刻蚀或反应性气体刻蚀，进行图形转移。光阻剥离液用于将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光阻除去，它是硅基材料晶片进行光阻化学清洗过程所需的常用化学品，主要由有机胺、极性有机溶剂和/或水等组成。光阻剥离液使用后产生的废水中含量大量的有机溶剂（如二甲基亚砜、乙醇胺等），如果直接排放会对环境产生极大的破坏；如果直接委外，无法对其进行有效利用，无形中增加了企业的生产成本。
技术实现思路
本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种光阻剥离液废液回收配液装置。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种光阻剥离液废液回收配液装置，它包括：剥离液收集罐，蒸发器，所述蒸发器通过第一循环泵与所述剥离液收集罐相连通；废液排出机构，所述废液排出机构与所述蒸发器底部相连通以用于承接其内的浓缩液；脱水塔，所述脱水塔与所述蒸发器顶部相连通，用于除去馏分中的水份；冷却机构，所述冷却机构与所述脱水塔相连接，用于冷却馏分；树脂吸收组件，所述树脂吸收组件通过提升泵与所述冷却机构相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；成品配制组件，所述成品配制组件包括与所述树脂吸收组件相连通的混配罐。优化地，它还包括分别与所述剥离液收集罐和所述蒸发器相连通的油浴锅。优化地，所述冷却机构包括与所述脱水塔相连通的冷却器、与所述冷却器相连接并用于连接主风口的冷却泵、与所述冷却器相连通的冷却水管、与所述冷却器相连接的缓冲罐以及与所述缓冲罐相连接的储液罐。优化地，所述树脂吸收组件包括与所述提升泵相连通的阳离子交换树脂塔以及与所述阳离子交换树脂塔底部相连通的阴离子交换树脂塔，所述阴离子交换树脂塔与所述混配罐相连接。优化地，所述成品配制组件还包括与所述混配罐相连通的第一原料罐、连接第一原料罐和所述混配罐的第一提升泵、与所述混配罐相连通的第二原料罐以及连接第二原料罐和所述混配罐的第二提升泵。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：本技术光阻剥离液废液回收配液装置，通过将剥离液收集罐与蒸发器、脱水塔、冷却机构和树脂吸收组件等依次连接，这样能够有效将光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺蒸出并经除水、冷却后储存，对应配置后可直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。附图说明图1为本技术光阻剥离液废液回收配液装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图所示的实施例对本技术作进一步描述。如图1所示的光阻剥离液废液回收配液装置，主要包括剥离液收集罐1、蒸发器3、废液排出机构4、脱水塔5、冷却机构6和树脂吸收组件7等。其中，剥离液收集罐1通常与上游的剥离液废液管道或者缓冲罐相连通，用于承接剥离液废液。蒸发器3通过第一循环泵31与剥离液收集罐1相连通，使得蒸发器3和第一循环泵31之间、第一循环泵31和剥离液收集罐1之间通过管道连接（各设备之间通常采用必要的管道连接，下同），用于将剥离液收集罐1中的剥离液废液导入蒸发器3进行蒸馏处理。废液排出机构4与蒸发器3的底部相连通，用于承接蒸发器3内的浓缩液、滤渣等。脱水塔5与蒸发器3的顶部相连通，用于对蒸发器3产生的馏分进行脱水处理。冷却机构6与脱水塔5相连接，用于冷却馏分使得馏分变为液态。树脂吸收组件7通过提升泵73与冷却机构6相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子。成品配制组件8至少包括与树脂吸收组件7相连通的混配罐81，用于承接经树脂吸收组件7处理后的馏分，并可与其它储存罐中的原料复配而形成可直接使用的光阻剥离液。在本实施例中，光阻剥离液废液回收配液装置还包括分别与剥离液收集罐1和蒸发器3相连通的油浴锅2，使得油浴锅2分别与剥离液收集罐1、蒸发器3的加热套相连通，这样可以先对剥离液收集罐1中的剥离液废液进行预热，再对蒸发器3中的剥离液废液进行蒸馏，实现了梯度加热，有利于提高热利用效率；剥离液收集罐1和蒸发器3上还相互独立地安装有温度计和压力计，以提高剥离液收集罐1、蒸发器3等监测的自动化程度，从而配合油浴锅2实现对收集罐1、蒸发器3等加热的自动化控制（脱水塔5和冷却机构6上也相互独立地安装有温度计和压力计）。废液排出机构4包括与蒸发器3底部相连通的储存罐、安装在储存罐和蒸发器3之间的循环泵、安装在储存罐和蒸发器3之间的通断阀（循环泵和通断阀通过不同的管路连接在储存罐和蒸发器3之间）、一端与储存罐底部相连通且另一端接至排污口的排污管道以及依次安装在排污管道上的阀门、出液泵等，从而能够将其承接的浓缩液、滤渣等输送至排污口（委外处理或者接专门的市政管道）。在本实施例中，冷却机构6包括与脱水塔5相连通的冷却器61、与冷却器61相连接并用于连接主风口的冷却泵62、与冷却器61相连通的冷却水管63（包含循环水进水管和循环水出水管）、与冷却器61相连接的缓冲罐64以及与缓冲罐64相连接的储液罐65，这样可以利用冷却水管63、冷却泵62实现对冷却机构6内馏分的双重冷却，提高了冷却效果而有利于提高产品得率。树脂吸收组件7包括与提升泵73相连通的阳离子交换树脂塔72以及与阳离子交换树脂塔72底部相连通的阴离子交换树脂塔71，使得阴离子交换树脂塔71与混配罐81相连接，以提高对馏分中各离子的吸附效果。成品配制组件8还包括与混配罐81相连通的第一原料罐83、连接第一原料罐83和混配罐81的第一提升泵84、与混配罐81相连通的第二原料罐82以及连接第二原料罐82和混配罐81的第二提升泵85（第一原料罐83、第二原料罐82分别用于盛放二甲基亚砜、乙醇胺），这样混配罐81中的馏分（经测定馏分组成）可以与第一原料罐83、第二原料罐82中的原料进行复配而混合，直接作为光阻剥离液使用，上述的复配过程可以是人工进行；更优选采用自动化控制的方式进行（利用市售的单片机结合市售的在线浓度检测仪实现），如在混配罐81上安装在线浓度检测仪（即折光仪，如市售的TY-100A、PRM-100α等，下同），此时可以将在线浓度检测仪与同一单片机（如市售的ULN2003芯片）相连接，该单片机还分别与上述的第一提升泵84、第二提升泵85相连接以控制其启闭或开度，这样单片机可以接收在线浓度检测仪发送的信号而控制前述提升泵是否工作，从而实现光阻剥离液的自动化配制。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于，它包括：/n剥离液收集罐（1），/n蒸发器（3），所述蒸发器（3）通过第一循环泵（31）与所述剥离液收集罐（1）相连通；/n废液排出机构（4），所述废液排出机构（4）与所述蒸发器（3）底部相连通以用于承接其内的浓缩液；/n脱水塔（5），所述脱水塔（5）与所述蒸发器（3）顶部相连通，用于除去馏分中的水份；/n冷却机构（6），所述冷却机构（6）与所述脱水塔（5）相连接，用于冷却馏分；/n树脂吸收组件（7），所述树脂吸收组件（7）通过提升泵（73）与所述冷却机构（6）相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；/n成品配制组件（8），所述成品配制组件（8）包括与所述树脂吸收组件（7）相连通的混配罐（81）。/n

【技术特征摘要】
1.一种光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于，它包括：
剥离液收集罐（1），
蒸发器（3），所述蒸发器（3）通过第一循环泵（31）与所述剥离液收集罐（1）相连通；
废液排出机构（4），所述废液排出机构（4）与所述蒸发器（3）底部相连通以用于承接其内的浓缩液；
脱水塔（5），所述脱水塔（5）与所述蒸发器（3）顶部相连通，用于除去馏分中的水份；
冷却机构（6），所述冷却机构（6）与所述脱水塔（5）相连接，用于冷却馏分；
树脂吸收组件（7），所述树脂吸收组件（7）通过提升泵（73）与所述冷却机构（6）相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；
成品配制组件（8），所述成品配制组件（8）包括与所述树脂吸收组件（7）相连通的混配罐（81）。


2.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于：它还包括分别与所述剥离液收集罐（1）和所述蒸发器（3）相连通的油浴锅（2）。


3.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收配液...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋新，吴鹏珍，田丹女，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32