金刚石在线检测生长装置及生长缺陷处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种金刚石在线检测生长装置及生长缺陷处理方法，其中，金刚石在线检测生长装置包括反应腔室、光学相机测量装置、气体存储输送系统和控制装置，所述光学相机测量装置设置在反应腔室的外部，光学相机测量装置透过观察窗口实时的拍摄反映腔室内金刚石的生长情况，并反馈给控制装置的中央处理器，所述中央处理器根据检测结果控制碳源气体混合物和刻蚀气体混合物是否进入反应腔室，能够实时的记录金刚石的生长过程并及时的处理掉生长缺陷，确保金刚石的生长质量和成品率。

Diamond on-line detection and growth device and treatment of growth defects

【技术实现步骤摘要】
金刚石在线检测生长装置及生长缺陷处理方法
本专利技术涉及晶体生长
，具体涉及一种金刚石在线检测生长装置及生长缺陷处理方法。
技术介绍
金刚石由于具有极其优异的物理化学性质，可以胜任钻头、半导体、非金属切割等领域，并且具有极佳的性能。但天然金刚石储量有限，于是人们开发出多种合成金刚石方法，如高温高压法、热丝化学气相沉积法等，其中微波等离子体化学气相沉积法(Microwaveplasmachemicalvapordeposition，MPCVD)合成金刚石法由于没有杂质的引入，可以合成出高质量、大面积的金刚石，从而被广泛使用。MPCVD(Microwaveplasmachemicalvapordeposition)法合成金刚石的质量与多种因素有关，包括碳源浓度，气体流量大小，气体流量比例，基板台高度，微波功率，合成温度等。在批量合成金刚石的过程中，任意一个合成参数的变化，均有可能会影响合成过程的稳定性，尤其对于长时间的设备运行过程中，这是一个动态的稳定平衡过程，随着金刚石的生长，此时合成参数不可避免的会出现扰动(温度逐渐增加或者金刚石本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金刚石在线检测生长装置，其特征在于，包括/n反应腔室，所述反应腔室包括适于容纳金刚石生长的封闭区域，所述反应腔室外侧壁上至少设有一个观察窗口；/n光学相机测量装置，包括测量装置本体和光学相机，所述光学相机测量装置安装在可以通过观察窗口观察反应腔室内部样品的位置；/n气体存储输送系统，气体存储系统通过气体输送气路与反应腔室上的通气孔连接，使得反应气体或刻蚀气体可以进入反应腔室，所述气体存储输送系统包括碳源存储系统和刻蚀气体存储系统；/n控制装置，包括中央处理器；/n所述光学相机测量装置的一种安装方式为，直接固定在观察窗口外；所述光学相机测量装置的另一种安装方式为通过固定部件，安装在反应腔...

【技术特征摘要】
1.一种金刚石在线检测生长装置，其特征在于，包括
反应腔室，所述反应腔室包括适于容纳金刚石生长的封闭区域，所述反应腔室外侧壁上至少设有一个观察窗口；
光学相机测量装置，包括测量装置本体和光学相机，所述光学相机测量装置安装在可以通过观察窗口观察反应腔室内部样品的位置；
气体存储输送系统，气体存储系统通过气体输送气路与反应腔室上的通气孔连接，使得反应气体或刻蚀气体可以进入反应腔室，所述气体存储输送系统包括碳源存储系统和刻蚀气体存储系统；
控制装置，包括中央处理器；
所述光学相机测量装置的一种安装方式为，直接固定在观察窗口外；所述光学相机测量装置的另一种安装方式为通过固定部件，安装在反应腔室外部，使得光学相机可以通过观察窗口监测反应腔室内部样品情况；
所述光学相机、气体存储输送系统分别与中央处理器电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种金刚石在线检测生长装置，其特征在于，所述气体存储输送系统还包括气体混合装置，所述气体混合装置用于将碳源、刻蚀气体等与惰性气体、氢气及其他必要气体按照需要进行混合。


3.根据权利要求1所述的一种金刚石在线检测生长装置，其特征在于，所述光学相机测量装置通过转轴机构与反应腔室上的固定部件活动连接，且能够透过观察窗口拍摄所述反应腔室内的金刚石。


4.根据权利要求3所述的一种金刚石在线检测生长装置，其特征在于，所述转轴机构包括上支座、下支座和阻尼转轴，所述上支座通过铰接支架与反应腔室外壁连接，所述下支座设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭国令，黄翀，
申请(专利权)人：长沙新材料产业研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43