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本发明提供一种金刚石在线检测生长装置及生长缺陷处理方法,其中,金刚石在线检测生长装置包括反应腔室、光学相机测量装置、气体存储输送系统和控制装置,所述光学相机测量装置设置在反应腔室的外部,光学相机测量装置透过观察窗口实时的拍摄反映腔室内金刚石...该专利属于长沙新材料产业研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙新材料产业研究院有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种金刚石在线检测生长装置及生长缺陷处理方法,其中,金刚石在线检测生长装置包括反应腔室、光学相机测量装置、气体存储输送系统和控制装置,所述光学相机测量装置设置在反应腔室的外部,光学相机测量装置透过观察窗口实时的拍摄反映腔室内金刚石...