【技术实现步骤摘要】
硅片的清洗提篮
本技术涉及硅片加工
,具体为硅片的清洗提篮。
技术介绍
硅片被广泛应用在电子行业中,常被用作精密元器件的原材料,作原材料的硅片要求很高的清洁度,硅片表面不能存在杂质,所以硅片的清洗是电子元件制作中一个重要环节,常见的硅片清洗方法是湿法化学清洗,方式是将硅片摆放在硅片提篮里,再放入清洗剂中冲洗。目前使用的硅片清洗提篮采用一体式结构长宽大小固定,只能放置一种尺寸的硅片,需要不同的提篮才能够放置不同尺寸的硅片,使用很不方便并且造成生产成本增加。另外硅片是易损材料,在将硅片装入提篮时如果将硅片从提篮顶部掉落至提篮底部,与提篮底部发生碰撞,会造成硅片受损,造成硅片质量下降,并且将硅片从提篮里取出时,提篮的顶部结构分隔板之间空间较小,取硅片时很困难。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了硅片的清洗提篮,具备提篮长度可以调节,保护硅片在提篮中不损坏,增加在提篮中硅片稳定性的优点,解决了上述
技术介绍
中问题。本技术提供如下技术方案:硅片的清洗提篮,包括部件一和部件二,所述 ...
【技术保护点】
1.硅片的清洗提篮,包括部件一(1)和部件二(2),其特征在于:所述部件一(1)和部件二(2)的正面均固定安装有分隔板(3),所述部件一(1)和部件二(2)正面的底部均固定安装有位于分隔板(3)下方的支撑板(4),所述支撑板(4)的上表面固定安装有缓冲垫(5),所述缓冲垫(5)的上表面固定安装有固定槽(6),所述部件一(1)正面的左右两侧和部件二(2)正面的左右两侧分别固定安装有安装板一(7)和安装板二(10),所述安装板一(7)内侧的中部固定安装有滑块(8),所述安装板二(10)内侧的中部开设有滑槽(11),所述滑块(8)侧面的中部和滑槽(11)的中部均开设有安装孔(9)。/n
【技术特征摘要】
1.硅片的清洗提篮,包括部件一(1)和部件二(2),其特征在于:所述部件一(1)和部件二(2)的正面均固定安装有分隔板(3),所述部件一(1)和部件二(2)正面的底部均固定安装有位于分隔板(3)下方的支撑板(4),所述支撑板(4)的上表面固定安装有缓冲垫(5),所述缓冲垫(5)的上表面固定安装有固定槽(6),所述部件一(1)正面的左右两侧和部件二(2)正面的左右两侧分别固定安装有安装板一(7)和安装板二(10),所述安装板一(7)内侧的中部固定安装有滑块(8),所述安装板二(10)内侧的中部开设有滑槽(11),所述滑块(8)侧面的中部和滑槽(11)的中部均开设有安装孔(9)。
2.根据权利要求1所述的硅片的清洗提篮,其特征在于:所述滑块(8)的形状是“T形”,所述滑块(8)与滑槽(11)滑动...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘爱军,曹丙强,庄艳歆,周浪,
申请(专利权)人:江苏金晖光伏有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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