一种晶片装载机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶片装载机构，包括装载腔室，其上开设有开口，装载组件，可往复移动地设置在装置腔室内，用于承载晶片载具，以及滑动组件，设置在装载腔室内，滑动组件的滑动端与所述装载组件连接，所述滑动组件的滑动端的运动方向朝向所述装载腔室的开口。本实用新型专利技术提供的晶片装载机构通过滑动组件带动装载组件进入或伸出装载腔室，实现在晶片装载机构的外部将晶片载具放入到装载组件上或者取下空载具。在晶片载具的装卸过程中，操作者无需进入晶片装载机构的内部，能减少设备内酸性气体对操作者的人身伤害。

A chip loading mechanism

【技术实现步骤摘要】
一种晶片装载机构
本技术涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种晶片装载机构。
技术介绍
随着全球工业化的进程，煤炭、石油等常规能源频频告急，太阳能光伏技术成为较有发展潜力的发电技术之一。太阳能光伏技术中通常涉及太阳能电池板的生产制造，太阳能电池板的生产制造需经过多道工序。制成太阳能电池板的晶片装载在晶片载具中，以实现在各道工序之间运输。刻蚀工艺是生产太阳能电池板的一道必要的工序，通过氢氟酸等腐蚀性液体将薄膜和衬底分离。在刻蚀工艺开始前，需要通过传送机构将晶片传输到刻蚀工艺的设备中。现有刻蚀工艺的晶片传输方案中，操作者通常将晶片载具推入到刻蚀工艺设备中，操作者需要进入到刻蚀工艺设备的内部，操作非常不方便。此外，刻蚀工艺设备的内部存在HF酸性气体，环境比较严苛，HF酸性气体会对进入到刻蚀设备内部的操作者的皮肤造成腐蚀，从而可能造成对操作者的人身安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种晶片装载机构，方便晶片载具的装入和取出，也能减少设备内酸性气体对操作者的伤害。为达此目的，本技术采用以下技术方案：...

【技术保护点】
1.一种晶片装载机构，其特征在于，包括：/n装载腔室(11)，其上开设有开口；/n装载组件(12)，可往复移动地设置在所述装载腔室(11)内，用于承载晶片载具(10)；以及/n滑动组件(16)，其设置在所述装载腔室(11)内，所述滑动组件(16)的滑动端与所述装载组件(12)连接，所述滑动组件(16)的滑动端的运动方向朝向或远离所述装载腔室(11)的开口。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶片装载机构，其特征在于，包括：
装载腔室(11)，其上开设有开口；
装载组件(12)，可往复移动地设置在所述装载腔室(11)内，用于承载晶片载具(10)；以及
滑动组件(16)，其设置在所述装载腔室(11)内，所述滑动组件(16)的滑动端与所述装载组件(12)连接，所述滑动组件(16)的滑动端的运动方向朝向或远离所述装载腔室(11)的开口。


2.如权利要求1所述的晶片装载机构，其特征在于，所述装载组件(12)包括载台(23)和载具转换框(15)，所述载具转换框(15)可拆卸地安装于所述载台(23)上表面，所述载具转换框(15)上开设有载具安装孔(151)，所述载具安装孔(151)大小和形状与所述晶片载具(10)的底板的大小和形状相同，所述晶片载具(10)的底板插装在所述载具安装孔(151)内。


3.如权利要求2所述的晶片装载机构，其特征在于，所述载台(23)的上表面开设有安装槽(232)，所述安装槽(232)的形状及大小与所述载具转换框(15)的形状及大小相同。


4.如权利要求2所述的晶片装载机构，其特征在于，所述载台(23)靠近所述装载腔室(11)开口的一端设置有手扣槽(231)。


5.如权利要求2所述的晶片装载机构，其特征在于，所述晶片装载机构还包括：
第一位置检测组件(13)，设置在所述装载腔室(11)的内部，且被配置为检测所述装载组件(12)的位置；
锁定组件(14)，设置在所述装载腔室(11)的内部，所述载台(23)上设置有锁定孔(233),当所述第一位置检测组件(13)检测到所述装载组件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁世兵，申兵兵，王敬苗，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11