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本实用新型公开了一种晶片装载机构，包括装载腔室，其上开设有开口，装载组件，可往复移动地设置在装置腔室内，用于承载晶片载具，以及滑动组件，设置在装载腔室内，滑动组件的滑动端与所述装载组件连接，所述滑动组件的滑动端的运动方向朝向所述装载腔室的开...
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