【技术实现步骤摘要】
节能型过氧化氢提纯装置
本技术涉及一种提纯装置,尤其是涉及一种用于对过氧化氢进行提纯的装置,其节能环保,具有极高的推广价值,属于化工设备
技术介绍
目前,高浓度高纯的过氧化氢水溶液是半导体电子行业的重要原料之一,是其微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一;其主要用作半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂,用于半导体电子工业中制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质,以及铜、铜合金和半导体材料镓、锗及显像管制造工序的处理等,它的纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。过氧化氢均采用蒸发冷凝的发生对其提纯,利用其与水液化温度的不同,使得过氧化氢优先液化收集,整个过程耗能较大、冷却水和蒸汽的消耗量也巨大,且常规的装置缺乏对余热的回收利用,不利于节能环保;为此,亟需一种能够克服上述问题的全新提纯装置。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足,提供一种节能型过氧化氢提纯装置,其能够有效的对冷凝液化过程中释放的热量进行余热回收,从而极大的降低了能耗,同时,实现了冷却水和蒸汽的闭环使用,极大的降低了对水资源的消耗,节水效果明显,具有环保的积极效益。本技术的目的是这样实现的:一种节能型过氧化氢提纯装置,所述装置包含有板式蒸发器,所述板式蒸发器的介质流道一的进口经泵与存储有过氧化氢溶液的原料池相连通,该板式蒸发器的介质流道一的出口连通至一级冷凝器的侧壁下方的进气口,所述一级冷凝器的底部为锥形结构,且锥形结构的底部为出液口,该出液口经软管与储液罐相连通, ...
【技术保护点】
1.一种节能型过氧化氢提纯装置,所述装置包含有板式蒸发器(1),所述板式蒸发器(1)的介质流道一的进口经泵与存储有过氧化氢溶液的原料池相连通,该板式蒸发器(1)的介质流道一的出口连通至一级冷凝器(2)的侧壁下方的进气口,所述一级冷凝器(2)的底部为锥形结构,且锥形结构的底部为出液口,该出液口经软管与储液罐相连通,所述一级冷凝器(2)的顶部出气口连通至二级冷凝器(3);其特征在于:/n所述一级冷凝器(2)内横向水平设置有多个冷却水箱(2.1),且冷却水箱(2.1)的进水口和出水口分别穿过一级冷凝器(2)的侧壁后伸置于一级冷凝器(2)的外部,且冷却水箱(2.1)的出水口连通至蒸汽发生器(4)的进液口,该蒸汽发生器(4)的出气口连通至板式蒸发器(1)的介质流道二的进气口,上述板式蒸发器(1)的介质流道二的出水口经循环泵(101)连通至冷却水箱(2.1)的进水口;所述冷却水箱(2.1)上竖向穿接有多个锥形筒(2.2),且锥形筒(2.2)的小孔径开口端穿过冷却水箱(2.1)的底板后朝下设置、大孔径开口端穿过冷却水箱(2.1)的顶板后朝上设置。/n
【技术特征摘要】
1.一种节能型过氧化氢提纯装置,所述装置包含有板式蒸发器(1),所述板式蒸发器(1)的介质流道一的进口经泵与存储有过氧化氢溶液的原料池相连通,该板式蒸发器(1)的介质流道一的出口连通至一级冷凝器(2)的侧壁下方的进气口,所述一级冷凝器(2)的底部为锥形结构,且锥形结构的底部为出液口,该出液口经软管与储液罐相连通,所述一级冷凝器(2)的顶部出气口连通至二级冷凝器(3);其特征在于:
所述一级冷凝器(2)内横向水平设置有多个冷却水箱(2.1),且冷却水箱(2.1)的进水口和出水口分别穿过一级冷凝器(2)的侧壁后伸置于一级冷凝器(2)的外部,且冷却水箱(2.1)的出水口连通至蒸汽发生器(4)的进液口,该蒸汽发生器(4)的出气口连通至板式蒸发器(1)的介质流道二的进气口,上述板式蒸发器(1)的介质流道二的出水口经循环泵(101)连通至冷却水箱(2.1)的进水口;所述冷却水箱(2.1)上竖向穿...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱祥龙,殷凤娥,殷泼淸,
申请(专利权)人:江阴市化学试剂厂有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。