【技术实现步骤摘要】
用于弹性体应变测量的薄膜应变计及制备方法
本专利技术涉及一种薄膜应变计，特别涉及一种直接制备于弹性体表面测量其微小应变的薄膜应变计。
技术介绍
应变测量技术在很多领域都有其广泛的应用。一方面是因为对大部分的物理量如力、扭矩、速度与加速度等的测量都可以转化为对应变进行间接测量而得到，使得应变传感器成为目前市面上多数测量仪器的核心。另一方面是其结构与原理简单，性能稳定可靠，使用方便。在所有应变测量的技术中，以金属材料为主的电阻式应变传感器最为常用，其测量原理为：当外界的物理量(如力、速度、扭矩等)引起敏感材料的几何形状(长度或宽度)发生改变，从而导致材料的电阻发生变化，通过对电阻变化引起的电信号进行采集、放大，就可以得到被测物体的实际应变大小及其变化。该原理简单且易于实现，只需分析敏感材料的电阻值变化即可得到被测样品的应变大小，因此得到广泛应用。现有的电阻式应变传感器以粘贴式电阻应变片为主，其具有附加质量小、精度高、响应速度快且可以同时进行动态和静态测量等优点。使用时只需将应变片粘贴于待测物体上，也可以组成一定的放大或补...
【技术保护点】
1.一种用于弹性体应变测量的薄膜应变计，包括弹性体、绝缘隔离层、应变敏感层以及保护层，其特征在于：所述绝缘隔离层、应变敏感层和保护层均制备于弹性体1上，其中，所述绝缘隔离层制备于弹性体表面，用于薄膜应变计整体与弹性合金之间的电气绝缘；所述应变敏感层制备于所述绝缘隔离层上方，用于应变的测量；所述保护层制备于所属应变敏感层之上，并设置露出应变敏感层的引线电极，用于保护应变敏感层不受外界环境的影响，避免应变敏感层发生老化、腐蚀等现象。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于弹性体应变测量的薄膜应变计，包括弹性体、绝缘隔离层、应变敏感层以及保护层，其特征在于：所述绝缘隔离层、应变敏感层和保护层均制备于弹性体1上，其中，所述绝缘隔离层制备于弹性体表面，用于薄膜应变计整体与弹性合金之间的电气绝缘；所述应变敏感层制备于所述绝缘隔离层上方，用于应变的测量；所述保护层制备于所属应变敏感层之上，并设置露出应变敏感层的引线电极，用于保护应变敏感层不受外界环境的影响，避免应变敏感层发生老化、腐蚀等现象。
2.根据权利要求1所述的用于弹性体应变测量的薄膜应变计，其特征在于：所述应变敏感层包括电极、过渡栅、敏感栅和横栅，所述电极用于将应变敏感层电阻值变化的电信号引出；所述电极通过过渡栅连接敏感栅，所述敏感栅用于感知应变带来电阻变化，所述敏感栅由多条细长的长条状结构构成，用于最大限度的反应纵向上应变引起的电阻变化；所述敏感栅的细长的长条状结构之间通过横栅连接，所述横栅起到连接各个敏感栅的作用从而减小应变敏感层的总体尺寸，所述横栅为短接的结构，可减小薄膜应变计的横向效应。
3.根据权利要求2所述的用于弹性体应变测量的薄膜应变计，其特征在于：当外界物理量引起弹性体发生形变时，所述应变敏感层中的敏感栅的长度发生伸长或...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐红丽，吴昊，马相龙，吴承勇，林杰俊，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七零四研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。