具有氢气吸气剂的压电装置制造方法及图纸

本公开提供一种装置包括衬底、第一层吸气剂材料、第一电极、绝缘元件、第二电极、第一输入‑输出电极及第二输入‑输出电极。所述第一层吸气剂材料沉积在所述衬底上。所述第一电极形成在第一导电层中，所述第一导电层沉积在所述第一层吸气剂材料上。所述第一层吸气剂材料对于氢气具有比所述第一电极高的吸气能力。所述绝缘元件形成在压电层中，所述压电层沉积在所述第一电极上。所述第二电极形成在第二导电层中，所述第二导电层沉积在所述绝缘元件上。所述第一输入‑输出电极导电性地连接到所述第一层吸气剂材料。所述第二输入‑输出电极导电性地连接到所述第二电极。

【技术实现步骤摘要】
具有氢气吸气剂的压电装置
本专利技术实施例涉及一种具有氢气吸气剂的压电装置。
技术介绍
例如压电致动器(piezoelectricactuator)等压电装置可用于在电信号的控制下造成系统中的物理部件的物理运动。通过压电装置而产生的物理运动可用于控制各种机械系统及光学系统。一些类型的压电致动器可用于造成线性运动或其他类型的运动。
技术实现思路
根据本专利技术的实施例，一种压电装置包括衬底、第一层吸气剂材料、第一电极、绝缘元件、第二电极、第一输入-输出电极以及第二输入-输出电极。第一层吸气剂材料沉积在所述衬底上。第一电极形成在第一导电层中，所述第一导电层沉积在所述第一层吸气剂材料上，其中所述第一层吸气剂材料对于氢气具有比所述第一电极高的吸气能力。绝缘元件形成在压电层中，所述压电层沉积在所述第一电极上。第二电极形成在第二导电层中，所述第二导电层沉积在所述绝缘元件上。第一输入-输出电极导电性地连接到所述第一层吸气剂材料。第二输入-输出电极导电性地连接到所述第二电极。根据本专利技术的实施例，一种压电装置包括衬底、第一电极、绝本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电装置，其特征在于，包括：/n衬底；/n第一层吸气剂材料，沉积在所述衬底上；/n第一电极，形成在第一导电层中，所述第一导电层沉积在所述第一层吸气剂材料上，其中所述第一层吸气剂材料对于氢气具有比所述第一电极高的吸气能力；/n绝缘元件，形成在压电层中，所述压电层沉积在所述第一电极上；/n第二电极，形成在第二导电层中，所述第二导电层沉积在所述绝缘元件上；/n第一输入-输出电极，导电性地连接到所述第一层吸气剂材料；以及/n第二输入-输出电极，导电性地连接到所述第二电极。/n

【技术特征摘要】
20180711 US 62/696,471;20180822 US 16/108,3841.一种压电装置，其特征在于，包括：
衬底；
第一层吸气剂材料，沉积在所述衬底上；
第一电极，形成在第一导电层中，所述第一导电层沉积在所述第一层...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志明，喻中一，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71