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本公开提供一种装置包括衬底、第一层吸气剂材料、第一电极、绝缘元件、第二电极、第一输入‑输出电极及第二输入‑输出电极。所述第一层吸气剂材料沉积在所述衬底上。所述第一电极形成在第一导电层中，所述第一导电层沉积在所述第一层吸气剂材料上。所述第一层...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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