【技术实现步骤摘要】
一种模式转换一维线阵压电元件及其制备方法
本专利技术属于医疗器械制备领域，尤其涉及一种模式转换一维线阵压电元件及其制备方法。
技术介绍
目前，大多数医用相控阵超声换能器采用陶瓷片纵向振动模式构造。随着工作频率的提高以及规模的增大，这种相控阵超声换能器的单个阵元大小减小，电阻抗升高的同时阵元之间电学连接更复杂，而阵元的阻抗增加引起阵元与射频信号源之间的阻抗不匹配。这种不配带来的后果是：对于诊断超声阵列，阻抗不匹配会导致输出端输出较低的声能，接收端图像分辨率降低、信噪比差；对于高功率治疗超声阵列，阻抗不匹配导致过低的电声转换效率。针对上述问题，现有技术的解决方法是对相控阵超声换能器的每个阵元采用电阻抗匹配降低影响。然而，上述现有技术会大大增加制造成本，并且效率低下，实用性不高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种模式转换一维线阵压电元件及其制备方法，以降低压电元件阵元的电阻抗和整个压电元件的制造成本。本专利技术第一方面提供一种模式转换一维线阵压电元件制备方法，所述方法包括：
【技术保护点】
1.一种模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述方法包括：/n在长方体形状的第一压电材料的一个大面和四个侧面敷设电极以及第二压电材料的一个大面和四个侧面敷设电极，所述大面为与所述四个侧面均共棱的面，所述第一压电材料的大面与所述第二压电材料的大面全等，所述大面的电极和侧面的电极互连互通；/n采用粘接剂将所述敷设了电极的第一压电材料的大面与敷设了电极的第二压电材料的大面粘接在一起以形成第三压电材料；/n以每次不小于目标压电元件的厚度的切割深度，从所述第三压电材料没有敷设电极的两面中任何一面下刀切割所述第三压电材料形成若干间距相等的槽；/n灌入去耦合材料至所述槽中；/n...
【技术特征摘要】
1.一种模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述方法包括：
在长方体形状的第一压电材料的一个大面和四个侧面敷设电极以及第二压电材料的一个大面和四个侧面敷设电极，所述大面为与所述四个侧面均共棱的面，所述第一压电材料的大面与所述第二压电材料的大面全等，所述大面的电极和侧面的电极互连互通；
采用粘接剂将所述敷设了电极的第一压电材料的大面与敷设了电极的第二压电材料的大面粘接在一起以形成第三压电材料；
以每次不小于目标压电元件的厚度的切割深度，从所述第三压电材料没有敷设电极的两面中任何一面下刀切割所述第三压电材料形成若干间距相等的槽；
灌入去耦合材料至所述槽中；
待所述槽中的去耦合材料凝固后，研磨所述第三压电材料没有敷设电极的大面，直至所述第三压电材料的厚度与所述目标压电元件的厚度相同以及所述第一压电材料的厚度和第二压电材料的厚度相同为止；
对所述研磨后的第三压电材料没有敷设电极的两大面敷设电极并去除所述第三压电材料四个侧面中任意三个侧面的电极而保留剩下一个侧面敷设的电极以形成第四压电材料；
沿着所述第三压电材料两大面的每个槽切割所述去耦合材料，以在每份去耦合材料中形成一条第一电极隔断槽，在靠近所述第四压电材料的侧面电极之处以垂直于所述第一电极隔断槽的方向切割所述第四压电材料的两大面以形成两条第二电极隔断槽，所述第四压电材料两大面敷设、被所述第一电极隔断槽和第二电极隔断槽隔断并且没有与所述第四压电材料的侧面电极连接的电极部分为信号源电极，所述第四压电材料两大面敷设、被所述第一电极隔断槽和第二电极隔断槽隔断并且与所述第四压电材料的侧面电极连接的电极部分以及所述第四压电材料的侧面电极一起为接地电极；
所述信号源电极与信号源连接，所述接地电极接地。
2.如权利要求1所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，在所述大面和四个侧面敷设电极之前，对所述第一压电材料的一个大面和四个侧面形成的四个角以及第二压电材料的一个大面和四个侧面形成的四个角做倒角处理。
3.如权利要求1所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述去耦合材料为环氧树脂。
4.如权利要求1所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述粘接剂为导电胶或非导电胶。
5.如权利要求1至4任意一项所述的模式转换一维线阵压电元件制备方法，其特征在于，所述第一压电材料的厚度大于所述第二压电材料的厚度。
6.如权利要求1至4任意一项所述的模式转换一维线阵...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑海荣，马腾，李永川，靳遥，黄继卿，郭瑞彪，苏敏，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44
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