采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构技术方案

本发明专利技术提供一种采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，包括丝杆轴、与所述丝杆轴螺纹配合的螺母、与所述螺母固定连接的拉杆组件以及超声波振子组件；所述超声波振子组件包括固定于所述螺母上的超声波振子以及连接所述超声波振子的驱动模块，所述超声波振子在所述驱动模块的作用下振动进而减小所述螺母与所述丝杆轴之间的摩擦。本发明专利技术提供的采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，能够消除爬行现象、提高宏定位环节的定位精度并大幅降低整个分度系统的控制难度。

【技术实现步骤摘要】
采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构
本专利技术涉及精密机械传动领域，尤其涉及一种采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构。
技术介绍
光栅刻划机是制作机刻光栅所必需的一种专用非标设备。光栅刻划机的工作方式与刨床极其相似，即承载光栅毛坯的工作台沿着与光栅刻线垂直的方向做分度运动，刻划系统带动刻刀沿着与分度方向正交的方向做刻划运动，两个方向运动按照某一时序联动就可以在光栅基底上刻制出一系列相互平行的光栅刻线。光栅的刻线间距通常都很小，因此对光栅刻划机分度系统的定位精度提出了极高要求，在某些极端情况可以达到纳米级。为满足这一要求，目前世界上比较著名的几台光栅刻划机分度系统均采用了宏微双重驱动的布局方案，所谓宏微双重驱动是指在同一个精密驱动系统里面布置两套功能不同的并行驱动机构，其中精度较低的大行程直线位移机构负责驱动宏动位移台，实现整个系统的大行程进给。精度较高的微位移驱动机构负责对大行程进给的定位误差进行补偿，实现最终的高精度。出于可靠性、传动精度以及位移分辨率等多方面因素考虑，美国、日本包括我国自己研制的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，其特征在于：包括丝杆轴、与所述丝杆轴螺纹配合的螺母、与所述螺母固定连接的拉杆组件以及超声波振子组件；所述超声波振子组件包括固定于所述螺母上的超声波振子以及连接所述超声波振子的驱动模块，所述超声波振子在所述驱动模块的作用下振动进而减小所述螺母与所述丝杆轴之间的摩擦。/n

【技术特征摘要】
1.一种采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，其特征在于：包括丝杆轴、与所述丝杆轴螺纹配合的螺母、与所述螺母固定连接的拉杆组件以及超声波振子组件；所述超声波振子组件包括固定于所述螺母上的超声波振子以及连接所述超声波振子的驱动模块，所述超声波振子在所述驱动模块的作用下振动进而减小所述螺母与所述丝杆轴之间的摩擦。


2.如权利要求1所述的采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，其特征在于：所述超声波振子的数量至少为一个并固定于所述螺母的表面上。


3.如权利要求1所述的采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，其特征在于：所述驱动模块向所述超声波振子发送高频电信号激励所述超声波振子发生振动进而带动所述螺母振动。


4.如权利要求1所述的采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，其特征在于：所述拉杆组件包括转接环及拉杆；所述转接环套于所述丝杆轴上且一端与所述螺母的一端固定连接，所述拉杆固定于所述转接环远离所述螺母的一端。


5.如权利要求4所述的采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，其特征在于：所述拉杆的数量为两个并间隔相对设置，所述丝杆轴位于两个拉杆之间。


6.如权利要求1所述的采用超声减摩技术的光栅刻划机...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚雪峰，唐玉国，齐向东，崔继承，王明佳，孙慈，糜小涛，于昌本，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22