【技术实现步骤摘要】
实现-2级宽带高效率的三层全介质矩形光栅
本专利技术涉及宽带高效率光栅，尤其是一种实现-2级宽带高效率的三层全介质矩形光栅。
技术介绍
在飞秒激光领域，棱镜等分光器件由于材料色散的引入而无法使用。而光栅既可以分离光谱，又可以补偿色散，具有补偿色散、结构紧凑、效率高、易于制作等优点是飞秒激光领域最重要的光学器件。而全介质矩形光栅，相比镀金光栅又具有高的损伤阈值，因此全介质光栅具有重要的实用前景。全介质矩形光栅制作简单，可通过全息干涉场一次曝光、显影、刻蚀等常规工艺加工得到。为了得到高效率宽光谱的衍射光栅结构，ThomasW.Mossberg等人提出了基于三层介质的负一级高效率的矩形光栅结构【专利技术专利号：US20090116790A1】，可以得到在1550通讯波段高效率偏振无关的衍射特性。我们知道，光栅的分辨本领可表示为R＝λ/Δλ＝m×N，其中Δλ为最小可分辨的波长间隔，N为在孔径内光栅栅线的个数，m为衍射级次。而对于通用光刻工艺中，光栅尺寸很难做到很大。衍射级次m越大，光栅的分辨本领也就越高，传统光栅都是针对-1...
【技术保护点】
1.一种实现-2级宽带高效率的三层全介质矩形光栅，包括包括熔融石英作为入射区域介质(1)和光栅脊为三层全介质矩形光栅，分别为第一层氧化铝(2)，第二层二氧化钛(3)，第三层熔融石英(4)，其特征在于所述的三层矩形光栅，中间一层的折射率为最大，每层材料折射率都介于其相邻两种材料折射率之间，飞秒激光以二次布拉格角θ
【技术特征摘要】
1.一种实现-2级宽带高效率的三层全介质矩形光栅，包括包括熔融石英作为入射区域介质(1)和光栅脊为三层全介质矩形光栅，分别为第一层氧化铝(2)，第二层二氧化钛(3)，第三层熔融石英(4)，其特征在于所述的三层矩形光栅，中间一层的折射率为最大，每层材料折射率都介于其相邻两种材料折射率之间，飞秒激光以二次布拉格角θin＝arcsin(λ/n1d)入射，其中θin代表入射角，n1为入射区域折射率，d代表光栅周期，b代表光栅脊的宽度，则占空比为f＝b/d，h1、h2和h3分别为三层全介质矩形光栅结构中氧化铝(2)、二氧化钛(3)和二氧化硅(4)的层厚度。
2.根据权利要求1所述的实现-2级宽带高效率的三层全介质矩形光栅，其特征在于用于1500纳米波段时，所述的三层全介质矩形光栅的占空比为0.38-0.42，周期为1553-1728纳米，这里光栅脊包括第一层为氧化铝(nr1＝1.66)，第二层为二氧化钛(nr2＝2.28)，第三层为熔融石英(nr3＝1.44)，对应深度分别为h1为151.6-466.9纳米，h2...
【专利技术属性】
技术研发人员：周常河，尹正坤，余俊杰，鲁云开，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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