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本发明提供一种采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构，包括丝杆轴、与所述丝杆轴螺纹配合的螺母、与所述螺母固定连接的拉杆组件以及超声波振子组件；所述超声波振子组件包括固定于所述螺母上的超声波振子以及连接所述超声波振子的驱动模块，所...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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