复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜制造技术

一种复合金属氧化物靶材，具有化学式A

Composite metal oxide film formed by composite metal oxide target and composite metal oxide target

【技术实现步骤摘要】
复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜
本专利技术涉及一种复合金属氧化物靶材及以该复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜。
技术介绍
由于全球气候暖化，日照和高温的时间更长，过量的紫外光照射对人体有害，红外线引起的热辐射对皮肤造成不良影响，除此之外，红外线通过玻璃传递，夏季使室内温度升高，冬季使室内取暖的热量流向室外，二者都会使空调的制冷或制热电能增加，间接造成了能源的问题，需要更有效的热阻隔材料。目前有使用湿式法制得的隔热材料(将有机物例如由PET、PVB等与纳米陶瓷粉体混合而成)，然而其具有不耐磨耗、不耐温、可靠度差,尤其用于高楼帷幕寿命短、耐候差(黄化)、应用受限、维护困难等。另有以有机贴膜方式将光学膜贴附在基板上，但由于其使用的光学膜包含多层镀膜，存在成本与价格居高不下的问题，又由于有机涂层因时间或紫外线的照射以及热会产生劣化或造成变黄、剥离等现象，进而影响寿命、可靠度等。因此，开发具有制程简单、多功能、高寿命、高可靠度光学材料乃是现阶段相关
的重要课题。
技术实现思路
本专利技术提供一种复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物薄膜。本专利技术提供的复合金属氧化物靶材具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在一实施例中，复合金属氧化物靶材的致密度大于90％。在一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co，且x/y可以落在2.2至8.3的范围。在另一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式AxCsyWOz，其中0.63≤x≤1.88，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在又一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.23≤y≤0.33，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.85≤z≤3.44，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式AxCsyWOz，其中0.63≤x≤1.88，0.23≤y≤0.33，2.85≤z≤3.44，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。本专利技术提供的复合金属氧化物薄膜具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在一实施例中，复合金属氧化物薄膜的厚度可小于1000nm。在一实施例中，复合金属氧化物薄膜具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在一实施例中，复合金属氧化物薄膜具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co，且x/y可以落在2.2～8.3的范围。在一实施例中，复合金属氧化物薄膜具有化学式AxCsyWOz，其中0.63≤x≤1.88，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在一实施例中，复合金属氧化物薄膜具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.23≤y≤0.33，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在一实施例中，复合金属氧化物薄膜具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.85≤z≤3.44，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。在又一实施例中，复合金属氧化物薄膜具有化学式AxCsyWOz，其中0.63≤x≤1.88，0.23≤y≤0.33，2.85≤z≤3.44，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。根据本专利技术一实施例的复合金属氧化物薄膜，其红外线穿透率≤40％，可见光穿透率>50％，可见光反射率≤25％及紫外线穿透率≤25％，具有隔热、抗反射的功效。【具体实施方式】本专利技术通过复合金属氧化膜的材料成分设计，达到其光学上透明性，可见光穿透率高，红外线吸收特性，可直接披覆于玻璃表面而无需额外的粘着层，因此具有高可靠性的优势。由于常见的一般氧化物容易与铯化钨起反应，改变铯化钨的组成与性质；且加入越多的氧化物，与铯化钨的反应越多，越难控制光学特性；然而，本专利技术的混合氧化物与铯化钨进行烧结，在不改变铯化钨的物理特性之下，合成的靶材与薄膜能具有良好的多重光学特性。在本专利技术一实施例中，复合金属氧化物靶材的制备系分别由铯化钨，例如Cs0.33WO3粉体与混合氧化物(例如：含铋、硼、铝、锌、硅、锡、钒、锆、钴的氧化物)经过均匀的混充后以高温(例如450℃～800℃)烧结致密、冷却，再经抛光与加工而成。其中，上述混合氧化物可为氧化铋(Bi2O3)、氧化硼(B2O3)、氧化铝(Al2O3)或氢氧化铝(Al(OH)3)或含铝的前驱物、氧化锌(ZnO)、氧化硅(SiO2)、氧化锡(SnO2)、氧化钒(V2O5)、氧化锆(ZrO2)、三氧化二钴(Co2O3)或含钴的前驱物经煅烧而成。在本专利技术的实施例中，铯化钨粉体的合成系以氧化钨的前驱物与含有铯的盐类混合后经高温(例如100℃-600℃)反应后形成粉体，后经粉体细化或分散而得。在本专利技术一实施例中，混合氧化物粉体(LM-420，景明化工)的组成如下表所示：在本专利技术一实施例中，复合金属氧化物薄膜系以本专利技术的复合金属氧化物靶材利用干式镀膜方式而得，例如以溅镀法、熔射法等进行镀膜，膜厚可视应用需求而异，例如可以小于1000nm、小于500nm或小于200nm。基板可以为玻璃、陶瓷或金属板材；镀膜的气氛可以是氢气、氩气、氧气或其任一组合，例如可以使用氧气和氩气以1/10～1/1的比例混合而成的混合气体或者使用纯氧气或纯氩气。镀膜的热处理的温度在350℃-800℃，若高于此范围，镀膜后晶体结构改变或产生挥发，将无法满足光学特性，若低于此范围，镀膜后无法达到退火或晶体重整的效果，如形成非晶质薄膜，也无法达到特定光学效果。为了让本专利技术的上述和其他目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举数个实施例及比较实施例，作详细说明如下：光学物性测试以UV-VIS-NIR光谱仪(ShimadzuUV-3600)进行紫外光、可见光、近红外等穿透与反射实验；材料组成系以二次电子显微镜能量色散X射线谱(Energy-dispersiveX-rayspectroscopy，机型JOEL-6400)分析。铯化钨制备实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合金属氧化物靶材，具有化学式A

【技术特征摘要】
20180710 US 62/695,8451.一种复合金属氧化物靶材，具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。


2.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中x/y落在2.2～8.3的范围。


3.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中0.63≤x≤1.88。


4.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中0.23≤y≤0.33。


5.如权利要求1至4任一项所述的复合金属氧化物靶材，其中该复合金属氧化物靶材的致密度大于90％。


6.一种复合金属氧化物薄膜，具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。


7.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中x/y落在2.2～8.3的范围。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘燕妮，朱旭山，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71