【技术实现步骤摘要】
复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜
本专利技术涉及一种复合金属氧化物靶材及以该复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜。
技术介绍
由于全球气候暖化，日照和高温的时间更长，过量的紫外光照射对人体有害，红外线引起的热辐射对皮肤造成不良影响，除此之外，红外线通过玻璃传递，夏季使室内温度升高，冬季使室内取暖的热量流向室外，二者都会使空调的制冷或制热电能增加，间接造成了能源的问题，需要更有效的热阻隔材料。目前有使用湿式法制得的隔热材料(将有机物例如由PET、PVB等与纳米陶瓷粉体混合而成)，然而其具有不耐磨耗、不耐温、可靠度差,尤其用于高楼帷幕寿命短、耐候差(黄化)、应用受限、维护困难等。另有以有机贴膜方式将光学膜贴附在基板上，但由于其使用的光学膜包含多层镀膜，存在成本与价格居高不下的问题，又由于有机涂层因时间或紫外线的照射以及热会产生劣化或造成变黄、剥离等现象，进而影响寿命、可靠度等。因此，开发具有制程简单、多功能、高寿命、高可靠度光学材料乃是现阶段相关
的重要课...
【技术保护点】
1.一种复合金属氧化物靶材，具有化学式A
【技术特征摘要】
20180710 US 62/695,8451.一种复合金属氧化物靶材，具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。
2.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中x/y落在2.2～8.3的范围。
3.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中0.63≤x≤1.88。
4.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中0.23≤y≤0.33。
5.如权利要求1至4任一项所述的复合金属氧化物靶材，其中该复合金属氧化物靶材的致密度大于90％。
6.一种复合金属氧化物薄膜，具有化学式AxCsyWOz，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。
7.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中x/y落在2.2～8.3的范围。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘燕妮，朱旭山，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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