带有光学传感器的组件接收装置制造方法及图纸

技术编号:23089793 阅读:39 留言:0更新日期:2020-01-11 02:50
本发明专利技术涉及一种用于组件的接收装置,所述接收装置设计为借助于至少一个线性驱动器以受控方式相对于放置点(ABS)至少部分地沿着第一、第二和/或第三轴进行调节,和/或借助驱动器使由所述接收装置引导的支承件沿着第一和/或第二轴之一移动。所述接收装置具有与组件放置点配对的位置传感器,以便在组件放置点处检测仅被部分地放置在支承件的槽中的组件,其中所述位置传感器在支承件侧面连接到接收装置,以便位置传感器直接随接收装置一起移动。

Component receiving device with optical sensor

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有光学传感器的组件接收装置
本文描述了用于组件的接收装置。结合组件处理装置和成像传感器来说明该接收装置。
技术介绍
本文中,组件例如是(电子的)半导体组件,也称为“芯片”或“管芯”。这样的组件通常具有棱柱形的形状,即具有多个侧边面以及顶面和端面,和诸如四边形(矩形或正方形)的大致多边形的横截面。组件的侧边面以及两个(下和上)端面在下文中通常称为侧面。该组件还可以具有除四个之外的多个侧边面。组件也可以是光学组件(棱镜,反射镜,透镜等)。总体而言,组件可以具有任何几何形状。根据申请人的操作实践,已知有所谓的拾取和放下装置,其中,借助抽吸装置或保持装置从组件台拾取组件,然后将该组件放置在支承件上或运输容器或类似物中。在放置组件之前,通常会进行组件的检测。为此,通过一个或多个照相机记录该组件的一个或多个侧面的图像,并借助于自动图像处理对其进行评估。这样的保持装置在运输期间和在采集组件的端面(例如,下端面)的图像期间保持组件。例如,DE102008018586A1公开了一种用于检测从第一工作站运输到第二工作站的组件的表面的光学检测装置,至少指向该组件的第一表面的照相机,将短波光束发送到第一表面的光源。第二光源将长波光束发送到组件的至少一第二表面。照相机接收在所述表面反射的第一和第二光束。与第一表面相比,第二表面的定向不同,例如,具有底面和总共四个侧边面的四边形组件就是这种情况。EP1470747B1涉及芯片取出装置,芯片取出系统,装配系统以及用于取出和进一步处理芯片的方法。将芯片从晶片上取出并运输到转移位置并同时转向。这种用于从结构化的半导体晶片上取出芯片的芯片取出装置装配有可旋转的取出工具和可旋转的转向工具,该取出工具用于从晶片上取出芯片并将所取出的芯片绕其纵向或横向轴旋转180度,该转向工具用于将所取出的芯片绕其纵向或横向轴再次旋转180度,该转向工具与该取出工具配合使用。该取出工具具有第一转移位置和该转向工具具有第二转移位置,在这些位置处,芯片能够被转移到装配头以进行进一步处理。EP0906011A2涉及一种用于在基板上取出和装配电子组件的装置。该装置包括可旋转的转移装置,该转移装置在拾取位置处从进给模块中取出电子组件,并在第一转移位置处将它们转移到抽吸带用于进一步处理。借助于可旋转的装配头,从抽吸带上拾取组件并将其运输到第二转移位置。WO02/054480A1涉及一种用于光学检测待安装的芯片的各个表面的装置。该装置包括适于从进给单元取出芯片并将该芯片运输到第一转移位置的第一上运输板。所述芯片被保持在形成在上运输滚筒的侧边面上的抽吸口中,并通过上运输板的旋转而移动。该装置还具有与第一运输板相同设计的第二下运输板,该第二下运输板在第一转移位置处拾取所取出的芯片并将其运输到第二转移位置。该装置允许检测芯片,因为将照相机横向放置在运输板旁边,该摄像头在芯片的上侧和下侧上检测芯片。芯片无需相对于其原始方向进行旋转就进一步转移到分拣装置中,以进行进一步处理。US4,619,043公开了一种用于在电路板上取出和安装电子组件,特别是芯片的设备和方法。该设备包括用于在拾取单元中拾取芯片并将所拾取的芯片运输至第一转移位置的传送机构。该传送机构具有彼此接合的传送链和可旋转的链轮。所述设备还包括带有安装头的可旋转的固定工具,用于在第一转移位置处拾取芯片。该固定工具还适于通过旋转运动来将所拾取的芯片传送到第二转移位置,从而使芯片转向。JP2-193813涉及一种用于拾取和旋转由测试设备检测的电子组件的设备。该设备包括进给单元,通过第一旋转体从该进给单元取出芯片状电子组件并且将该电子组件布置在该第一旋转体的外围处。借助于该旋转体的旋转运动,电子组件被运输到第一转移位置,由此电子组件绕其纵向或横向轴转向。该设备还包括第二旋转体,该第二旋转体在第一转移位置处拾取所取出的电子组件并将其运输到第二转移位置。由此,电子组件进一步绕其纵向或横向轴转向。因此,该设备允许检测组件的不同侧面。US6,079,284涉及一种用于片剂的详细视觉检测的设备。该设备包括第一检测滚筒,该第一检测滚筒借助于形成在其侧边面上的抽吸孔将片剂从供应设备中取出,并通过旋转将其运输到第二检测滚筒。对应于第一滚筒的第二滚筒设置有抽吸孔,这些抽吸孔在转移位置处拾取片剂。该设备还包括检测单元,其允许对片剂进行详细检测。在文件JP2001-74664(A),JP1-193630(A),US5,750,979,WO85/04385A1,DE19913134A1,JP8-227904A中能够找到更多的技术背景。
技术实现思路
有待解决的问题用于组件的接收装置允许组件的精确处理和以高吞吐量对其的检测。本文介绍的解决方案该目的通过一种用于组件的接收装置来实现,该接收装置适于借助于至少一个线性驱动器以受控方式相对于放置点至少部分地沿着第一、第二和/或第三轴进行调节,和/或借助于驱动器以受控的方式沿着第一和/或第二轴之一来移动由所述接收装置引导的支承件。所述接收装置具有与组件放置点相关联的位置传感器,用于在组件放置点处检测倾斜或扭曲并且仅部分地放置在支承件的槽中的组件,其中所述位置传感器以如下方式从支承件侧面连接到接收装置,即所述位置传感器直接随所述接收装置一起执行接收装置的运动。在一种变型中,在用于组件的接收装置的的上游处功能性地布置有用于从结构化组件供应装置中取出棱柱形的组件并且将所取出的组件放置在接收装置处的组件处理装置。具有多个拾取元件的第一转向装置适于在分配点处接收来自结构化组件供应装置的组件,以使接收到的组件绕其纵向或横向轴转向第一预定角度,并将所述组件传送到转移点。具有多个拾取元件的第二转向装置适于在转移点处接收来自第一转向装置的拾取元件的组件,以使接收到的组件绕其纵向或横向轴转向第二预定角度,并将所述组件传送到放置点。与第一和第二转向装置相关联的位置和特性传感器适于检测第一和第二转向装置的位置数据,位于拾取元件处的组件的位置数据,和/或位于拾取元件处的组件的特性,并将它们提供给控制器。所述控制器适于借助于第一旋转驱动器以受控的方式绕着第一轴来旋转第一转向装置,借助于第一线性驱动器以受控的方式沿第一轴来移动第一转向装置,借助于第二旋转驱动器以受控的方式绕与第一轴不共线的第二轴来旋转第二转向装置,以及借助于第二线性驱动器以受控的方式沿第二轴来移动第二转向装置。因此,本文提出的布置形成用于组件的集成的接收装置/检测装置。接收点和(放置)槽这些表述在本文中是同义词。由此能够剔除次品零件。集成到转移过程中的组件光学检查分为多个检查过程。它使用一个或多个成像传感器来光学地检测组件的端面和/或侧边面,以及拾取元件在转移/接收点处的位置。这些成像传感器适于在每一种情况下在多个检查过程中采集组件的端面和/或侧边面之一的至少一个图像。在转向装置的各个拾取元件分别保持组件的同时进行组件的进给/运输。被保持的组件在运输时会经过各个检查过程。成像传感器的所采集的(图像)数据还用于协调操纵器(拾取元件)和接收点的位置本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.用于组件(B)的接收装置(200),所述接收装置(200)适于借助于至少一个线性驱动器(LA4)以受控方式相对于放置点(ABS)至少部分地沿着第一、第二和/或第三轴(X-轴、Y-轴、Z-轴)进行调节,和/或借助于驱动器(DA4)以受控的方式沿着第一和/或第二轴(X-轴、Y-轴)之一来移动由所述接收装置(200)引导的支承件(320),所述接收装置具有与组件放置点(ABS)相关联的位置传感器(K6),用于在所述组件放置点(ABS)处检测仅部分地放置在所述支承件(320)的槽中的组件(B),其中所述位置传感器(K6)以如下方式在支承件(320)侧面连接到所述接收装置(200),即所述位置传感器(K6)直接与所述接收装置一起执行所述接收装置(200)的运动。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.用于组件(B)的接收装置(200),所述接收装置(200)适于借助于至少一个线性驱动器(LA4)以受控方式相对于放置点(ABS)至少部分地沿着第一、第二和/或第三轴(X-轴、Y-轴、Z-轴)进行调节,和/或借助于驱动器(DA4)以受控的方式沿着第一和/或第二轴(X-轴、Y-轴)之一来移动由所述接收装置(200)引导的支承件(320),所述接收装置具有与组件放置点(ABS)相关联的位置传感器(K6),用于在所述组件放置点(ABS)处检测仅部分地放置在所述支承件(320)的槽中的组件(B),其中所述位置传感器(K6)以如下方式在支承件(320)侧面连接到所述接收装置(200),即所述位置传感器(K6)直接与所述接收装置一起执行所述接收装置(200)的运动。


2.根据权利要求1所述的用于组件(B)的接收装置(200),其适于借助于旋转驱动器(DA3)以受控方式至少部分地绕着包含所述放置点(ABS)的第三轴(Z-轴)进行旋转。


3.根据权利要求1或2所述的用于组件(B)的接收装置(200),其中,所述传感器(K6)与所述接收装置(200)一起执行所述接收装置(200)的由所述驱动器(LA3)实现的沿所述第一轴(X-轴)的、和/或由所述驱动器(LA4)实现的沿着所述第二轴(Y-轴)的、和/或由所述驱动器(LA3)实现的绕着所述第三轴(Z-轴)的运动。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于组件(B)的接收装置(200),其中,所述传感器(K6)固定地连接至所述接收装置(200)的框架(350),其中在所述框架(350)中引导具有用于接收所述组件(B)的槽的所述支承件(320),以便在相对于所述组件(B)的所述放置点(ABS)处检测在所述框架(350)中引导的所述支承件(320)的所述槽的上边缘。


5.根据前述权利要求中任一项所述的用于组件(B)的接收装置(200),其中,所述传感器(K6)为带状光传感器的形式,其以固定方式布置在所述框架(350)的一侧上,并且适于检测来自布置在所述框架(350)的相对侧上的带状光源(360)的光带(LB)。


6.根据权利要求4或5所述的用于组件(B)的接收装置(200),其中,所述传感器(K6)适于在所述光带(LB)以至少大致平行于所述支承件(320)的上侧的方式在横向于所述支承件(320)的进给方向上经过了至少对应于所述槽的在所述进给方向上的尺寸的长度之后检测所述光带(LB)并在其长度上评估所检测到的光带(LB),其中,所述光带(LB)在所述放置点(ABS)处相对于在所述框架(350)中引导的所述支承件(320)的所述槽的上边缘对齐,使得未完全放置在所述支承件(320)的所述槽中的组件(B)至少部分地从所述槽突出并且因此相应地至少部分遮住了所述光带(LB),其中,所述传感器(K6)适于将其用信号发送给控制器(ECU)。


7.根据前述权利要求中任一项所述的用于组件(B)的接收装置(200),其中,所述传感器(K6)在所述支承件(320)的下方从侧面布置在所述框架(350)上,并且还设置有偏转镜(M),所述偏转镜(M)将越过所述支承件(320)上侧的所述光带(LB)偏转到固定在所述框架(350)上的所述传感器(K6),和/或所述光源(360)在所述支承件(320)的下方从侧面布置在所述框架(350)上,并且第二偏转镜将所述支承件(320)上方的所述光带(LB)在其上侧上方偏转到所述偏转镜(M)。


8.根据前述权利要求中任一项所述的用于组件(B)的接收装置(200),其中,所述传感器(K6)是黑白照相机的形式或彩色照相机的形式。


9.根据前述权利要求中任一项所述的用于组件(B)的接收装置(200),其中,设置有成像特性和/或位置传感器(K4),用于确定特性和/或待接收的组件(B)相对于其特性的位置和/或其相对于所述接收点(ES1、ES2)中的至少一个的位置,目的是在所述待接收的组件(B)或所述接收点的特性缺陷和/或位置错误的情况下时借助于控制器(ECU)生成校正指令,以实现相应的校正运动,和/或
其中,第四旋转驱动器(DA4)适于在来自所述控制器(ECU)的控制信号的控制下,借助于机械牵引力以受控的方式沿着所述第一和/或第二轴(X-轴、Y-轴)来移动由所述接收装置(200)引导的所述支承件(320),和/或
其中,第三旋转驱动器(DA3)适于在来自所述控制器(ECU)的控制信号的控制下并根据来自成像特性和/或位置传感器的信号,以受控的方式绕着包含所述放置点(ABS)的所述第三轴(Z-轴)来旋转所述至少一个接收点(ES...

【专利技术属性】
技术研发人员:康斯坦丁·科赫
申请(专利权)人:米尔鲍尔有限两合公司
类型:发明
国别省市:德国;DE

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