用于反射或透射扫描仪射束的扫描头设备和方法、具有扫描头设备的扫描设备和扫描仪技术

本发明专利技术提出的方案涉及一种扫描头设备(205)，用于反射或透射用于扫描仪的射束(210，215，275)。该扫描头设备(205)具有至少一个分束器装置(220)。该分束器装置(220)被形成且布置为用于完全反射该扫描仪的具有加工波长的加工光(210)，其中该分束器装置(220)被形成且布置为用于使观察光(215)从工件(225)透射穿过该分束器装置(220)。

Scanning head apparatus and method for reflecting or transmitting beam of scanner, scanning apparatus and scanner with scanning head apparatus

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于反射或透射扫描仪射束的扫描头设备和方法、具有扫描头设备的扫描设备和扫描仪
本专利技术涉及一种用于反射或透射扫描仪射束的扫描头设备、一种具有扫描头设备的扫描设备和一种具有扫描头设备的扫描仪，另外还涉及一种用于反射或透射扫描仪射束的方法以及一种对应的计算机程序产品。
技术介绍
在激光加工和材料加工的应用范围内，对准确度和通过速度的要求越来越高。借助于摄影机和相连的图像处理器进行可视过程控制形成了满足这两个要求的可能性。这种过程控制应能够检测到尽可能多的外部影响并且允许对应的应对措施。特别是在可以实现高加工速度的“2D扫描仪+物镜”的应用中，过程控制是非常有吸引力的。在此将摄影机额外地安置在扫描仪和物镜的组件之外。在激光束进入到扫描仪中之前，反射到(eingespiegelt)摄影机通道中。由此同时扫描了摄影机的视场。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于反射或透射扫描仪射束的扫描头设备、一种具有扫描头设备的扫描设备、另外还有一种具有扫描头设备的扫描仪以及一种用于反射或透射扫描仪射束的方法。有利的设计从相应的实施例和下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描头设备(205)，用于反射或透射用于扫描仪的射束(210，215，275)，其中该扫描头设备(205)至少包括以下特征：/n至少一个分束器装置(220)，该分束器装置被形成且布置为用于完全反射该扫描仪的具有加工波长的加工光(210)，其中该分束器装置(220)被形成且布置为用于使观察光(215)从工件(225)透射穿过该分束器装置(220)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170616 DE 102017210098.21.一种扫描头设备(205)，用于反射或透射用于扫描仪的射束(210，215，275)，其中该扫描头设备(205)至少包括以下特征：
至少一个分束器装置(220)，该分束器装置被形成且布置为用于完全反射该扫描仪的具有加工波长的加工光(210)，其中该分束器装置(220)被形成且布置为用于使观察光(215)从工件(225)透射穿过该分束器装置(220)。


2.根据权利要求1所述的扫描头设备(205)，该扫描头设备具有反射镜装置(230)，该反射镜装置被形成且布置为用于将由激光装置(235)产生的具有加工波长的加工光(210)反射到该分束器装置(220)。


3.根据权利要求1至2之一所述的扫描头设备(205)，其中至少该分束器装置(220)被布置为能够移动。


4.一种扫描设备(200)，该扫描设备具有根据权利要求1至3之一所述的扫描头设备(205)以及观察装置(240)，该观察装置具有至少一个传感器装置(245)，该传感器装置被形成为用于读取透射穿过该分束器装置(220)的观察光(247)。


5.根据权利要求4所述的扫描设备(200)，其中该观察装置(240)包括至少一个另外的反射镜装置(250)，该另外的反射镜装置被形成为用于将经透射的观察光(247)反射到该传感器装置(245)。


6.根据权利要求4至5之一所述的扫描设备(200)，其中该观察装置(240)包括至少一个另外的传感器装置(255)，该另外的传感器装置被形成为用于读取从物镜(260)透射穿过该分束器装置(220)的另外的观察光，尤其其中该观察装置(240)包括额外的反射镜装置(265)，该额外的反射镜装置被形成为用于将该另外的观察光反射到...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒂姆·巴尔德希芬，
申请(专利权)人：业纳光学系统有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE