下载用于反射或透射扫描仪射束的扫描头设备和方法、具有扫描头设备的扫描设备和扫描仪的技术资料

文档序号:23089114

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本发明提出的方案涉及一种扫描头设备(205),用于反射或透射用于扫描仪的射束(210,215,275)。该扫描头设备(205)具有至少一个分束器装置(220)。该分束器装置(220)被形成且布置为用于完全反射该扫描仪的具有加工波长的加工光(...
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