一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备技术方案

技术编号:23087033 阅读:61 留言:0更新日期:2020-01-11 01:50
本发明专利技术涉及一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备,包括连接板、处理器、升降机构、升降板、吸管、吸盘、吸附机构和两个放置机构,放置机构包括横板、竖杆、限位框、转动杆、支杆、铰接组件和托板,吸附机构包括风机、滤网和清洁组件,清洁组件包括清洁杆、滑杆、按压块、支撑单元和两个风叶,该用于芯片生产线测控系统的拾取设备通过两个放置机构便于将芯片放置在两个托板上,并利用两个限位框对芯片包围,防止芯片运输过程中因设备的抖动或碰撞等意外状况掉落,不仅如此,通过吸附机构方便拾取芯片,在芯片落在托板上后,通过按压块对芯片进行固定,进一步加强了芯片拾取和运输的稳定性,从而提高了设备的实用性。

A pick-up device used in the measurement and control system of chip production line

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备
本专利技术涉及生产线测控设备领域,特别涉及一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备。
技术介绍
集成电路(IntegratedCircuit,IC),也称微芯片、晶片或芯片,在电子学中是一种把电路(包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面。随着半导体行业的发展,集成电路芯片的厚度越做越薄,芯片的尺寸也越来越多样化,在芯片的生产测控系统中,通常需要使用各种拾取设备实现芯片的运输工作。但是现有的芯片拾取设备,结构简单,仅仅依靠风机从吸盘内抽气,将吸盘下方的芯片吸取上来,在吸附芯片后,吸盘与芯片的连接不牢靠,拾取设备容易因碰撞或者移动速度过快,导致芯片脱离吸盘,而为了增加对芯片的吸附力,单纯增加吸盘的吸力,会导致吸盘对芯片的挤压力过大,致使芯片损坏,不仅如此,设备长期使用过后,吸盘和风机之间的吸管之间,容易吸附灰尘杂质,影响空气的流通,进一步导致吸附力降低,从而降低了现有的芯片拾取设备的实用性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备,包括连接板、处理器、升降机构、升降板、吸管、吸盘、吸附机构和两个放置机构,所述处理器固定在连接板上,所述处理器内设有PLC,所述吸管的顶端通过升降机构设置在处理器的下方,所述吸盘固定在吸管的底端,所述升降机构与升降板传动连接,两个放置机构分别位于吸管的两侧,所述吸附机构设置在吸管内;所述放置机构包括横板、竖杆、限位框、转动杆、支杆、铰接组件和托板,所述横板固定在吸管上,所述横板套设在竖杆上,所述竖杆的顶端固定在升降板的下方,所述竖杆的底端与限位框固定连接,所述限位框的形状为U形,两个放置机构中的限位框相对设置,所述限位框和托板从上而下依次设置在吸盘的下方,所述转动杆位于竖杆的远离吸管的一侧,所述转动杆的顶端通过铰接组件与横板连接,所述转动杆的底端与托板固定连接,所述支杆的两端分别与竖杆和转动杆铰接;所述吸附机构从上而下依次包括风机、滤网和清洁组件,所述吸管的顶端上设有两个排气口,所述风机与PLC电连接,所述滤网的外周与吸管的内壁密封连接,所述清洁组件包括清洁杆、滑杆、按压块、支撑单元和两个风叶,所述滑杆的顶端固定在清洁杆的中心处的下方,所述按压块固定在滑杆的底端,两个风叶分别位于滑杆的下部的两侧,所述滑杆的中心处通过支撑单元设置在吸管内,所述清洁杆的上方设有若干毛刷。作为优选,为了驱动升降板升降移动,所述升降机构包括电磁铁和支柱,所述电磁铁固定在处理器的下方,所述电磁铁与PLC电连接,所述支柱固定在电磁铁和吸管之间,所述升降板套设在支柱上,所述升降板的制作材料为铁。作为优选,为了在升降板下降至最低处时,两个托板相互抵靠并保持水平的角度,所述吸管的顶端设有支撑块,所述支撑块固定在吸管的顶端,所述支撑块抵靠在升降板的下方。作为优选,为了方便转动杆转动,所述铰接组件包括中心轴和两个套管,所述套管固定在横板的下方,所述中心轴的两端分别设置在两个套管内,所述中心轴的中心处与转动杆的顶端固定连接。作为优选,为了避免排气口内进灰,所述排气口的内侧设有滤布。作为优选,为了保证滑杆的稳定转动,所述支撑单元包括支撑环和两个侧杆,所述支撑环套设在滑杆上,两个侧杆分别位于支撑环的两侧,所述支撑环通过侧杆与吸管的内壁固定连接连接。作为优选,为了便于减轻按压块对芯片的压力,所述侧杆的上方设有弹簧,所述清洁杆的下方设有缓冲环,所述缓冲块固定在弹簧的顶端。作为优选,为了避免芯片过度受挤压而损坏,所述按压块的制作材料为硅胶。作为优选,为了加固竖杆与限位框之间的连接,所述竖杆与限位框为一体成型结构。作为优选,为了方便遥控操作设备,所述处理器内还设有天线,所述天线与PLC电连接。本专利技术的有益效果是,该用于芯片生产线测控系统的拾取设备通过两个放置机构便于将芯片放置在两个托板上,并利用两个限位框对芯片包围,防止芯片运输过程中因设备的抖动或碰撞等意外状况掉落,不仅如此,通过吸附机构方便拾取芯片,在芯片落在托板上后,通过按压块对芯片进行固定,进一步加强了芯片拾取和运输的稳定性,从而提高了设备的实用性。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的用于芯片生产线测控系统的拾取设备的结构示意图;图2是本专利技术的用于芯片生产线测控系统的拾取设备的放置机构的结构示意图;图3是本专利技术的用于芯片生产线测控系统的拾取设备的限位框的俯视图;图4是本专利技术的用于芯片生产线测控系统的拾取设备的吸附机构的结构示意图;图5是图4的A部放大图;图中:1.连接板,2.处理器,3.升降板,4.吸管,5.吸盘,6.横板,7.竖杆,8.限位框,9.转动杆,10.支杆,11.托板,12.风机,13.滤网,14.清洁杆,15.滑杆,16.按压块,17.风叶,18.电磁铁,19.支柱,20.支撑块,21.中心轴,22.套管,23.滤布,24.支撑环,25.侧杆,26.弹簧,27.缓冲环。具体实施方式现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本专利技术的基本结构,因此其仅显示与本专利技术有关的构成。如图1所示,一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备,包括连接板1、处理器2、升降机构、升降板3、吸管4、吸盘5、吸附机构和两个放置机构,所述处理器2固定在连接板1上,所述处理器2内设有PLC,所述吸管4的顶端通过升降机构设置在处理器2的下方,所述吸盘5固定在吸管4的底端,所述升降机构与升降板3传动连接,两个放置机构分别位于吸管4的两侧,所述吸附机构设置在吸管4内;PLC,即可编程逻辑控制器,它采用一类可编程的存储器,用于其内部存储程序,执行逻辑运算、顺序控制、定时、计数与算术操作等面向用户的指令,并通过数字或模拟式输入/输出控制各种类型的机械或生产过程,其实质是一种专用于工业控制的计算机,其硬件结构基本上与微型计算机相同,一般用于数据的处理以及指令的接收和输出,用于实现中央控制。使用该芯片拾取设备时,将连接板1安装在芯片生产线测控系统中,通过连接板1的移动可控制下方的吸盘5和吸管4移动,在对芯片拾取时,将吸盘5移动至芯片的正上方后,由处理器2内部的PLC控制升降机构启动,通过升降板3向上移动作用在放置机构上,而后吸管4内的吸附机构启动,使得空气向上流动,通过吸盘5进入吸管4内,从而将下方的芯片吸附在吸盘5的下方,而后升降机构带动升降板3向下移动,使得放置机构启动,放置机构中的限位框8和托板11移动至吸盘5的下方后,吸附机构停止运行,使得芯片落在两个放置机构上,通过两个放置机构对芯片进行支撑,而后连接板1移动,进而带动芯片移动,实现对芯片的拾取移动操作。如图2-3所示,所述放置机构包括横板6、竖杆7、限位框8、转动杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备,其特征在于,包括连接板(1)、处理器(2)、升降机构、升降板(3)、吸管(4)、吸盘(5)、吸附机构和两个放置机构,所述处理器(2)固定在连接板(1)上,所述处理器(2)内设有PLC,所述吸管(4)的顶端通过升降机构设置在处理器(2)的下方,所述吸盘(5)固定在吸管(4)的底端,所述升降机构与升降板(3)传动连接,两个放置机构分别位于吸管(4)的两侧,所述吸附机构设置在吸管(4)内;/n所述放置机构包括横板(6)、竖杆(7)、限位框(8)、转动杆(9)、支杆(10)、铰接组件和托板(11),所述横板(6)固定在吸管(4)上,所述横板(6)套设在竖杆(7)上,所述竖杆(7)的顶端固定在升降板(3)的下方,所述竖杆(7)的底端与限位框(8)固定连接,所述限位框(8)的形状为U形,两个放置机构中的限位框(8)相对设置,所述限位框(8)和托板(11)从上而下依次设置在吸盘(5)的下方,所述转动杆(9)位于竖杆(7)的远离吸管(4)的一侧,所述转动杆(9)的顶端通过铰接组件与横板(6)连接,所述转动杆(9)的底端与托板(11)固定连接,所述支杆(10)的两端分别与竖杆(7)和转动杆(9)铰接;/n所述吸附机构从上而下依次包括风机(12)、滤网(13)和清洁组件,所述吸管(4)的顶端上设有两个排气口,所述风机(12)与PLC电连接,所述滤网(13)的外周与吸管(4)的内壁密封连接,所述清洁组件包括清洁杆(14)、滑杆(15)、按压块(16)、支撑单元和两个风叶(17),所述滑杆(15)的顶端固定在清洁杆(14)的中心处的下方,所述按压块(16)固定在滑杆(15)的底端,两个风叶(17)分别位于滑杆(15)的下部的两侧,所述滑杆(15)的中心处通过支撑单元设置在吸管(4)内,所述清洁杆(14)的上方设有若干毛刷。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备,其特征在于,包括连接板(1)、处理器(2)、升降机构、升降板(3)、吸管(4)、吸盘(5)、吸附机构和两个放置机构,所述处理器(2)固定在连接板(1)上,所述处理器(2)内设有PLC,所述吸管(4)的顶端通过升降机构设置在处理器(2)的下方,所述吸盘(5)固定在吸管(4)的底端,所述升降机构与升降板(3)传动连接,两个放置机构分别位于吸管(4)的两侧,所述吸附机构设置在吸管(4)内;
所述放置机构包括横板(6)、竖杆(7)、限位框(8)、转动杆(9)、支杆(10)、铰接组件和托板(11),所述横板(6)固定在吸管(4)上,所述横板(6)套设在竖杆(7)上,所述竖杆(7)的顶端固定在升降板(3)的下方,所述竖杆(7)的底端与限位框(8)固定连接,所述限位框(8)的形状为U形,两个放置机构中的限位框(8)相对设置,所述限位框(8)和托板(11)从上而下依次设置在吸盘(5)的下方,所述转动杆(9)位于竖杆(7)的远离吸管(4)的一侧,所述转动杆(9)的顶端通过铰接组件与横板(6)连接,所述转动杆(9)的底端与托板(11)固定连接,所述支杆(10)的两端分别与竖杆(7)和转动杆(9)铰接;
所述吸附机构从上而下依次包括风机(12)、滤网(13)和清洁组件,所述吸管(4)的顶端上设有两个排气口,所述风机(12)与PLC电连接,所述滤网(13)的外周与吸管(4)的内壁密封连接,所述清洁组件包括清洁杆(14)、滑杆(15)、按压块(16)、支撑单元和两个风叶(17),所述滑杆(15)的顶端固定在清洁杆(14)的中心处的下方,所述按压块(16)固定在滑杆(15)的底端,两个风叶(17)分别位于滑杆(15)的下部的两侧,所述滑杆(15)的中心处通过支撑单元设置在吸管(4)内,所述清洁杆(14)的上方设有若干毛刷。


2.如权利要求1所述的用于芯片生产线测控系统的拾取设备,其特征在于,所述升降机构包括电磁铁(18)和支柱(19),所述电磁铁(18)固定...

【专利技术属性】
技术研发人员:王海山
申请(专利权)人:深圳市奈士迪技术研发有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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